multi-chamber systemとは 意味・読み方・使い方

MULTI-MODE SYSTEM FOR INJECTING FUEL-AIR MIXTURE INTO COMBUSTION CHAMBER例文帳に追加

空気／燃料混合気を燃焼室の中へ噴射するためのマルチモードシステム - 特許庁

AERATION TUBE SYSTEM MULTI-CHAMBER DIVIDED TYPE FLUIDIZED BED FURNACE FOR MANUFACTURING REDUCED IRON OR IRON CARBIDE例文帳に追加

還元鉄または鉄カーバイド製造用散気管式多室分割型流動層炉 - 特許庁

To provide an improved system and method for controlling ozone concentration in connection with a multi-chamber tool.例文帳に追加

マルチ・チャンバ・ツールとの関係でオゾン濃度を制御する改良されたシステム及び方法を提供する。 - 特許庁

This semiconductor wafer processing system consists of a multi-chamber module equipped with vertically stacked semiconductor wafer processing chambers and a dedicated load lock chamber for each semiconductor wafer processing chamber.例文帳に追加

垂直にスタックされた半導体ウエハ処理チャンバを有する多重チャンバモジュールと、各半導体ウエハ処理チャンバ専用のロードロックチャンバとを含む半導体ウエハー処理システム。 - 特許庁

To provide a two-tube and multi-chamber type multi-system air conditioner enabled to provide a liquid receiver on an intermediate pressure side or a high pressure side thereof.例文帳に追加

中間圧側又は高圧側に受液器を設置することを可能とした２管式の多室型マルチシステム空気調和装置を提供する。 - 特許庁

The apparatus includes a multi-chamber system 100 having: a transfer chamber 105; etching chambers; a metrology chamber 110; and a robot 140 which is so constituted that it transfers a substrate between the etching chambers and the metrology chamber.例文帳に追加

装置は、移送チャンバ１０５と、エッチングチャンバと、計測チャンバ１１０と、エッチングチャンバと計測チャンバとの間で基板を移送するように構成されたロボット１４０とを有するマルチチャンバシステム１００を備える。 - 特許庁

To provide a substrate transfer mechanism for carrying a sample in a chamber that contributes to reduction in size of a multi-chamber system for development of a composite material.例文帳に追加

複合材料開発用のマルチチャンバシステムの小型化に貢献できる、試料をチャンバ内で搬送させる基板搬送機構を提供する。 - 特許庁

A multi-chamber system has a plurality of vacuum equipment (film forming equipment, etching equipment, heat treatment, preparatory chamber, etc.) which are used for the equipment of a semiconductor element.例文帳に追加

半導体素子の作製に供する複数の真空装置（成膜装置、エッチング装置、熱処理装置、予備室等）を有するマルチチャンバー・システムである。 - 特許庁