neutral atomic beamとは 意味・読み方・使い方

ATOMIC LAYER VAPOR DEPOSITION APPARATUS UTILIZING NEUTRAL BEAM AND ATOMIC LAYER VAPOR DEPOSITION METHOD UTILIZING THE APPARATUS例文帳に追加

中性ビームを利用した原子層蒸着装置及びこの装置を利用した原子層蒸着方法 - 特許庁

The method includes a step of irradiating the sample with a neutral atomic beam or ion beam, and a step of irradiating the sample with radiation after the irradiation of the sample with the neutral atomic beam or ion beam and analyzing the electrons from the sample.例文帳に追加

試料に中性原子線又はイオン線を照射する過程と、中性原子線又はイオン線の照射後に、試料に対して放射線を照射し、試料からの電子を分析する過程とを含む。 - 特許庁

Combination and reference intensities of a neutral atomic beam and an ion beam are stored for various elements, and, when a target sample contains such an element (Yes in S3), the intensities of the neutral atomic beam and ion beam originating in the specific element are determined and the intensity ratio is calculated (S4).例文帳に追加

各種元素について中性原子線とイオン線との組み合わせや基準強度を記憶しておき、目的試料がこうした元素を含む場合には（Ｓ３でＹｅｓ）、その特定元素に由来する中性原子線とイオン線との強度を求めてその強度比を算出する（Ｓ４）。 - 特許庁

To provide a neutral-beam-utilizing atomic layer vapor deposition apparatus wherein a workpiece is irradiated with a neutral beam formed by neutralizing a radical flux, i.e., an ion beam, generated by converting a second gas into a plasma, and to provide an atomic layer vapor deposition method utilizing the apparatus.例文帳に追加

第２の反応ガスをプラズマ化して発生されたラジカルのフラックス、すなわち、イオンビームを中性ビーム化して被処理基板に照射するようにした中性ビームを利用した原子層蒸着装置及びこの装置を利用した原子層蒸着方法を提供する。 - 特許庁

By utilizing the neutral-beam-utilizing atomic layer vapor deposition apparatus and the atomic layer vapor deposition method utilizing the apparatus, it is possible to practice the steps without damages due to charging.例文帳に追加

本発明による中性ビームを利用した原子層蒸着装置及びこの装置を利用した原子層蒸着方法を利用することによって、チャージングによる損傷なしに工程を実行することができる。 - 特許庁

When a standard sample contains the same element, similarly, the intensities of the neutral atomic beam and ion beam are determined and the intensity ratio is calculated (S5 and S6), and the degree of the influence of the physical interference or ionization interference is evaluated based on the difference between both intensity ratios (S7).例文帳に追加

また、標準試料が同じ元素を含む場合には、同様に中性原子線とイオン線との強度を求めてその強度比を算出し（Ｓ５、Ｓ６）、両者の強度比の差に基づいて物理干渉やイオン化干渉の影響の程度を評価する（Ｓ７）。 - 特許庁