pentakisとは 意味・読み方・使い方

Also a method of forming a barrier layer from purified pentakis(dimethylamido)tantalum, for example, a tantalum nitride barrier layer by atomic layer deposition is claimed.例文帳に追加

また、精製ペンタキス(ジメチルアミド)タンタルから原子層堆積によってバリヤ層、例えば、窒化タンタルバリヤ層を形成する方法も特許請求される。 - 特許庁

The chemical mechanical polishing composition for polishing a base material containing a silicon oxide material and a silicon nitride material contains at least one of a first substance (diethylene triamine pentakis (methyl phosphonic acid)) and a second substance (tetramethyl guanidine); abrasive grains and water as initial components.例文帳に追加

酸化ケイ素材料及び窒化ケイ素材料を含む基材を研磨するためのケミカルメカニカル研磨組成物であって、初期成分として、第一の物質（ジエチレントリアミンペンタキス（メチルホスホン酸））及び第二の物質（テトラメチルグアニジン）の少なくとも一つ；砥粒；及び水を含む。 - 特許庁