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phase defectとは 意味・読み方・使い方
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「phase defect」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 167件
PHASE DIFFERENCE DEFECT INSPECTION DEVICE例文帳に追加
位相差欠陥検査装置 - 特許庁
DEFECT CORRECTION METHOD FOR PHASE SHIFT MASK例文帳に追加
位相シフトマスクの欠陥修正方法 - 特許庁
MASK CORRECTION OPTICAL SYSTEM FOR PHASE DEFECT CORRECTION, MASK CORRECTION DEVICE FOR PHASE DEFECT CORRECTION, AND LASER CVD MASK CORRECTION DEVICE FOR PHASE DEFECT CORRECTION例文帳に追加
位相欠陥修正用マスク修正光学系，位相欠陥修正用マスク修正装置，及び位相欠陥修正用レーザＣＶＤマスク修正装置 - 特許庁
To correct a white defect having a phase effect in a halftone phase shift mask or to correct a recessed phase defect in a Levenson type phase shift mask.例文帳に追加
ハーフトーン型位相シフトマスクの位相効果を持つ白欠陥修正やレベンソン型位相シフトマスクの凹型の位相欠陥修正を可能にする。 - 特許庁
DEFECT REPAIR METHOD FOR PHASE SHIFT MASK, PHASE SHIFT MASK AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
位相シフトマスクの欠陥修正方法、位相シフトマスク及び露光方法 - 特許庁
To enhance correction accuracy of phase defect by detecting a defect position accurately when a phase defect is corrected.例文帳に追加
位相欠陥修正時における欠陥位置を正確に検出することができ、位相欠陥の修正精度の向上をはかる。 - 特許庁
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「phase defect」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 167件
METHOD FOR MANUFACTURING PHASE SHIFT RETICLE AND METHOD FOR CORRECTING DEFECT IN PHASE SHIFTER例文帳に追加
位相シフトレチクルの製造方法および位相シフター欠陥修正方法 - 特許庁
METHOD FOR DETERMINING DEFECT SPECIFICATION IN PHASE SHIFT MASK例文帳に追加
位相シフトマスクにおける欠陥仕様の決定方法 - 特許庁
DEFECT-CORRECTING METHOD FOR PHASE SHIFT MASK, AND DEVICE FOR THE SAME例文帳に追加
位相シフトマスクの欠陥修正方法およびその装置 - 特許庁
PHASE SHIFT RETICLE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND INSPECTION METHOD FOR DEFECT THEREIN例文帳に追加
位相シフトレチクルとその製造方法とその欠陥検査方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT, APPARATUS FOR CORRECTING PHASE DEFECT IN OPTICAL ELEMENT, AND METHOD FOR CORRECTING PHASE DEFECT IN OPTICAL ELEMENT例文帳に追加
光学素子、光学素子の製造方法、光学素子の位相欠陥修正装置及び光学素子の位相欠陥修正方法 - 特許庁
To provide a defect inspection apparatus for a phase shift mask which is capable of surely detecting the defect, more particularly microdefects of the phase shift mask.例文帳に追加
位相シフトマスクの欠陥、特に微小欠陥を確実に検出できる位相シフトマスクの欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection apparatus for a phase shift mask which is capable of surely detecting the defect, more particularly microdefects of the phase shift mask.例文帳に追加
位相シフトマスクの欠陥、特に微小欠陥を正確に検出できる位相シフトマスクの欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
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