plasma emitterとは 意味・読み方・使い方

Radio frequency excitation of the emitter generates thermions through electron and field effect, as a result, an effective plasma is generated.例文帳に追加

エミッタの無線周波数励起は、熱電子およびフィールド効果を介して電子を発生し、その結果効果的プラズマが発生する。 - 特許庁

The field emission type cold cathode having the emitter comprising the needle-shaped and densely formed carbon can be formed easily by executing an ECR plasma treatment in hydrogen gas on the carbon film 2 formed on the substrate electrode 1.例文帳に追加

また、基板電極上に形成されたカーボン膜に水素ガス中でＥＣＲプラズマ処理を行うことにより、容易に針状で密に形成されたカーボンより成るエミッタを有する電界放出型冷陰極を形成できる。 - 特許庁

An emitter is ionized and compressed by pulse-shaped currents between two electrodes 2 arranged in a vacuum chamber 1 and is excited to form an emitting plasma 3.例文帳に追加

エミッタが、真空チャンバ１に配置された２つの電極２間のパルス状電流によってイオン化および圧縮され、放出プラズマ３を形成する。 - 特許庁

A plasma processing apparatus includes: a processing gas supply source 8 installed outside a vacuum chamber 12; and a radical emitter 10 for discharging processing gas supplied from the processing gas supply source 8.例文帳に追加

真空槽１２の外部に設けられた処理ガス供給源８と、処理ガス供給源８から供給された処理ガスを放電させるラジカル放出器１０とを備える。 - 特許庁

A diamond-like carbon film 12A is formed in advance on a base 11, and oxygen plasma treatment is applied to the diamond-like carbon film 12A to form an emitter electrode 12 comprising the diamond-like carbon film having a coarse surface.例文帳に追加

基板１１上にあらかじめダイヤモンド様炭素膜１２Ａを形成し、このダイヤモンド様炭素膜１２Ａに酸素プラズマ処理を行い、表面の粗いダイヤモンド様炭素膜からなるエミッタ電極１２を形成する。 - 特許庁

In both the methods, since plasma damage does not enter the silicon epitaxial film that is to become the emitter, the semiconductor device having a small leakage current is obtained.例文帳に追加

いずれの方法でもエミッタとなるシリコンエピタキシャル膜にプラズマダメッジが入らないので、リーク電流が小さい半導体装置が得られる。 - 特許庁

To realize high brightness and high efficiency of a flat face discharge light source in which a plasma igniter utilizing an electronic emitter, corona discharge, and dielectric barrier discharge or the like is mounted.例文帳に追加

電子エミッタ、コロナ放電、誘電体バリア放電などを利用するプラズマイグナイタを搭載して平面型放電光源の高輝度・高効率化を実現する。 - 特許庁