plasma-jet sourceとは 意味・読み方・使い方

To provide a gas jet nozzle for a laser plasma extreme ultraviolet rays light source.例文帳に追加

レーザープラズマ極紫外光源のためのガス噴射ノズルを提供する。 - 特許庁

After that, when the piezoelectric element 2 sets a distance between the jetting port 18 and the substrate 60 at 5 mm, the plasma source 10 generates a thermal plasma jet, and irradiates the a-Si:H film 61 with the thermal plasma jet TPJ from the jetting port 18.例文帳に追加

その後、圧電素子２によって噴出口１８と基板６０との距離が５ｍｍに設定されると、プラズマ源１０は、熱プラズマジェットを発生し、噴出口１８から熱プラズマジェットＴＰＪをａ−Ｓｉ：Ｈ膜６１に照射する。 - 特許庁

When a piezoelectric element 2 sets a distance between a jetting port 18 and a substrate 60 at 1 mm, a plasma source 10 generates a thermal plasma jet, and irradiates an a-Si:H film 61 with the thermal plasma jet TPJ from the jetting port 18 having a diameter 300 μmϕ.例文帳に追加

圧電素子２によって噴出口１８と基板６０との距離が１ｍｍに設定されると、プラズマ源１０は、熱プラズマジェットを発生し、直径が３００μｍφである噴出口１８から熱プラズマジェットＴＰＪをａ−Ｓｉ：Ｈ膜６１に照射する。 - 特許庁

The temperature of a heat source of a plasma jet is about 1,000°C, and the heat sources are such as the surplus heat source of the factory, and solar light, wind power/hydraulic electricity generations.例文帳に追加

プラズマジェットの熱源の温度は約１，０００度であり、熱源は、工場の余剰熱源、その他、太陽光や風力、水力発電等、二酸化炭素の排出量が少ない方法による。 - 特許庁

Further, by supplying the source material 8 into the jet plasma from a material passage 95, the activated source material is adsorbed onto the upper face of a first electrode 3 to form a titanium oxide film 4.例文帳に追加

さらに、材料通路９５から、このジェットプラズマ中に原料８を供給することにより、活性化された原料８が第１の電極３の上面に吸着し、酸化チタン膜４が形成される。 - 特許庁

To address problems which may be associated with the utilization of piezoelectric materials in the environment of plasma generated EUV light source generators or specifically for target droplet generation in liquid jet target droplet generators.例文帳に追加

プラズマ発生ＥＵＶ光源発生器の環境において又は特に液体噴出ターゲット液滴発生器のターゲット液滴発生における圧電材料の利用に関連することができる問題に対処する。 - 特許庁

A voltage that is negative to an anode 8 is applied to the intermediate cylindrical electrode 7 by an acceleration power source 10 to jet out electrons in the plasma F from the electron beam passage hole 11 and accelerate them toward the anode 6.例文帳に追加

加速電源１０により中間円筒電極７に陽極８に対し負の電圧を印加し、プラズマ中の電子を電子線通過口１１から噴射させ陽極に向かって加速させる。 - 特許庁