pp bsとは 意味・読み方・使い方

While the FOUPcuc is stored in the bay station BS, pipes PP are respectively attached to breezing filters formed at the two parts of the bottom face of the FOUPcuc, dry gas is made to flow from one pipe PP to the FOUPcuc, and atmosphere in the FOUPcuc is exhausted from the other pipe PP so that atmosphere in the FOUPcuc is ventilated.例文帳に追加

ベイステーションＢＳでのＦＯＵＰｃｕｃの保管中には、ＦＯＵＰｃｕｃの底面の２個所に設けられたブリージングフィルタにそれぞれパイプＰＰを取り付け、一方のパイプＰＰから乾燥ガスをＦＯＵＰｃｕｃ内へ流し込み、他方のパイプＰＰからＦＯＵＰｃｕｃ内の雰囲気を排気することによって、ＦＯＵＰｃｕｃ内雰囲気を換気する。 - 特許庁