quartz thermometerとは 意味・読み方・使い方

For example, a thermistor is used as the first temperature sensor 34, and a quartz thermometer is used as the second temperature sensor 44.例文帳に追加

例えば、第１温度センサ３４としてサーミスタが使用され、第２温度センサ４４として水晶温度計が使用される。 - 特許庁

The quartz is removed out of a field of view of the radiation thermometer 120, so the radiation thermometer 120 can directly measure a lower surface of the semiconductor wafer W.例文帳に追加

放射温度計１２０の視野からは石英が除かれており、放射温度計１２０は半導体ウェハーＷの下面を直接測定することができる。 - 特許庁

As the distance between the end of a quartz rod 133 and the shutter plate 21 is ≤3 mm, the radiation thermometer 130 can also accurately measure the temperature of the semiconductor wafer W with the effects of disturbance light minimized.例文帳に追加

石英ロッド１３３の先端とシャッター板２１との距離が３ｍｍ以下であるため、放射温度計１３０も外乱光の影響を最小限に抑制して半導体ウェハーＷの温度を正確に測定することができる。 - 特許庁

The relatively fine spring with a suitable size 1 is bent by applying an external force, and while keeping this state, the metal 2 having a suitable melting point is cast to form the thermometer which is inserted and sealed in a quartz tube.例文帳に追加

比較的微細な適当な大きさのばね１に外力を加えて撓ませた状態のまま適当な融点を有する金属２を鋳込んで成形した構造の温度計を石英管に封入したものである。 - 特許庁

In this method for measuring a contamination condition of the quartz tube, a temperature of the quartz tube 121 is measured by an infrared radiation thermometer 14, in the manufacturing process of the optical fiber wherein a coating layer is provided by a radiation curing resin on a surface of a glass fiber, and the radiation transmittance in a wall of the quartz tube 121 is measured based on the temperature.例文帳に追加

石英管汚染状態の測定法は、ガラスファイバ表面に放射線硬化性樹脂による被覆層を設ける光ファイバ製造工程において、赤外線放射温度計１４により石英管１２１の温度を測定し、この温度から石英管１２１壁の放射線透過率を求めるものである。 - 特許庁

The treating apparatus having a halogen lamp 14 for heating and heat treating a mounted semiconductor substrate 3 and a radiation thermometer 11 having a quartz rod 7 which takes in lights radiated from the substrate 3 heated with lights from the lamp 14, thereby measuring the temperature of the substrate 3, comprises a hollow 17 formed around the outside of the quartz rod 7 for absorbing lights.例文帳に追加

装着された半導体基板３を熱処理するために加熱するハロゲンランプ１４と、ハロゲンランプ１４からの光により加熱された半導体基板３から放射される光を石英ロッド７に取り込むことによって半導体基板３の温度を測定する放射温度計１１とを含む熱処理装置であって、石英ロッド７に対して周設され、光を吸収する空腔１７を備えたことを特徴とする半導体基板熱処理装置を提供する。 - 特許庁