reaction spaceとは 意味・読み方・使い方

To provide a reaction device capable of generating a reaction which is excellent and sufficient in space efficiency.例文帳に追加

スペース効率に優れて十分な反力を発生させることのできる反力装置を得る。 - 特許庁

The nozzles 43, 44, and 45 output the reaction gas to the reaction space 34 at film forming.例文帳に追加

ノズル４３、４４，４５は、成膜処理を行う場合、反応ガスを反応空間３４に出力する。 - 特許庁

The space between a metallic target T and a substrate W in a reaction chamber 10 is separated into a plasma space S1 and a reaction space S2 by a cored partition board 15, then, the plasma space S1 is fed with sputtering gas, and the reaction space S2 is fed with gaseous fluorine as reaction gas, respectively.例文帳に追加

反応室１０の金属ターゲットＴと基板Ｗの間の空間を有孔仕切板１５によってプラズマ空間Ｓ_1 と反応空間Ｓ_2 に分離し、プラズマ空間Ｓ_1 にスパッタガスを、反応空間Ｓ_2 に反応ガスとしてフッ素ガスをそれぞれ供給する。 - 特許庁

A space surrounded by the electrodes 2, 3 and 4 in the reaction chamber 1 is defined as a discharge space 5.例文帳に追加

反応容器１内の電極２、３、４間の空間を放電空間５とする。 - 特許庁

By exhausting the reaction space S2 by an exhausting means 12, the plasma space S1 is indirectly exhausted.例文帳に追加

反応空間Ｓ_2 を排気手段１２によって排気することで、プラズマ空間Ｓ_1 を間接的に排気する。 - 特許庁

The reaction tube 37 forms a closed reaction space for forming a prescribed thin film on the wafer of a semiconductor device by using reaction gas.例文帳に追加

反応管３７は、反応ガスを使って半導体デバイスのウェーハに所定の薄膜を形成するための密閉された反応空間を形成する。 - 特許庁

To provide a reaction heat detector suitable for detecting minute heat of reaction accompanied by biochemical reaction or the like in a minute space.例文帳に追加

微小空間におけるバイオ・ケミカル反応等に伴う微少な反応熱を検出するに好適な反応熱検出器を提供する。 - 特許庁