shaped plasmaとは 意味・読み方・使い方

In addition, a shaped member (66) between a substrate and the plasma source controls the plasma density in a prescribed fashion to enhance-plasma processing uniformity.例文帳に追加

また、基板とプラズマ減との間に位置する形成部（６６）は、プラズマの密度を所定の形態で制御して，プラズマ処理の均一性が向上される。 - 特許庁

Plasma is generated by an external plasma source, and the pulse-shaped RF bias and the negative pulse-shaped DC bias voltage are simultaneously applied to a base material to be treated.例文帳に追加

外部プラズマ源によりプラズマを生成するとともに、処理基材に対し、パルス状のＲＦバイアスと負のパルス状のＤＣバイアス電圧とを同時に印加する。 - 特許庁

The cylinder 124 and the ring-shaped bodies 122 and 116 are heated by plasma.例文帳に追加

筒状体１２４，第１および第２環状体１２２，１１６は，プラズマにより加熱される。 - 特許庁

Plasma 20 generated from a plasma gun 18 is shaped like beam with a magnetic field generated from magnetic coils 24 and 26.例文帳に追加

プラズマガン１８から発生されたプラズマ２０は、電磁コイル２４および２６から発生される磁界によってビーム状に整形される。 - 特許庁

A substantially flat plate-shaped antenna section 7 introducing electromagnetic waves into a plasma processing chamber 1 is provided with a recess.例文帳に追加

プラズマ処理室１に電磁波を投入する略平板状のアンテナ部７に凹部を設けた。 - 特許庁

By the plasma CVD method using tetramethoxysilane and an oxygen gas, the inverse mesa-shaped step part is covered.例文帳に追加

テトラエトキシシランと酸素ガスを用いたプラズマＣＶＤ法により、逆メサ形状の段差を被覆する。 - 特許庁

To provide a plasma CVD vapor deposition method, plasma processing or the like evenly performing a plasma processing on an inner surface of a cylinder-shaped structure without deforming the structure.例文帳に追加

本発明はプラズマＣＶＤ蒸着法やプラズマ処理などにおいて、筒状構造物を変形させることなく、該構造物内面に均一にプラズマ処理を行うことを目的とする。 - 特許庁

While conveying a film-shaped base material a from a first winding roller 2_1 to a second winding roller 2_2 via a cooling drum 3, a pre-plasma process is performed by performing plasma processing on a surface of the film-shaped base material a by a plasma generation unit 6.例文帳に追加

第１巻出巻取ローラ２_１から冷却ドラム３を介して第２巻出巻取ローラ２_２にフィルム状基材ａを搬送しつつ、プラズマ発生ユニット６によりフィルム状基材ａの表面にプラズマ処理を施す前プラズマ工程を行う。 - 特許庁