single‐wafer processingの英語

The reactor has a process chamber well suited to the single wafer processing of semiconductor wafers.例文帳に追加

このリアクタは、半導体ウェハの枚葉処理によく適合した処理チャンバを有する。 - 特許庁

Single wafer processing type substrate processing equipment comprises a liquid supply means, a gas supply means, and a drying means.例文帳に追加

枚葉式の基板処理装置は、液体供給手段と、気体供給手段と、乾燥手段とを備える。 - 特許庁

To provide single wafer substrate processing equipment and a method for achieving high efficiency drying when a substrate is processed by single wafer processing while preventing condensation of organic solvent used in dry processing.例文帳に追加

枚葉式で基板を乾燥させる際、乾燥処理に用いる有機溶剤の蒸気の結露を防止しながら高効率な乾燥を実現する枚葉式の基板処理装置および基板処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a wafer washing method of single wafer processing which can effectively remove a cleaning liquid dropped on the periphery of wafer.例文帳に追加

枚葉式のウエハ洗浄方法であって、ウエハの周辺部に滴下した洗浄液を効果的に除去する。 - 特許庁

To provide a single wafer processing device capable of performing a high quality treatment even if a treated wafer is of a larger diameter.例文帳に追加

被処理基板が大口径になっても高品質の処理ができる枚葉式基板処理装置を提供すること。 - 特許庁

The main body 10 of a semiconductor manufacturing device includes processing chambers 111-113 of, for example, a single wafer processing etching device, and various kinds of gases (GAS) are fed to the chambers 111-113.例文帳に追加

半導体製造装置本体１０は、例えば枚葉式エッチング装置の処理室１１１〜１１３を含み、各種ガス（ＧＡＳ）が投入される。 - 特許庁

Silicon wafers W in which beveling process is finished is transferred one by one to single wafer processing type both sides polishing equipment by a robot hand R.例文帳に追加

面取り工程が終了したシリコンウェーハＷを、ロボットハンドＲにより、枚葉式の両面研磨装置に１枚ずつ移送する。 - 特許庁

The silicon wafer 62 has a cup-like warpage where the central part of a thin disc wafer is recessed by single-wafer processing etching.例文帳に追加

シリコンウェーハ６２は、薄円板状のウェーハを枚葉式エッチングにより中央部が凹んだお椀状の反りが付与されたものである。 - 特許庁