spin liquidとは 意味・読み方・使い方

In a spin coater 102, the surface of a substrate is spin coated with the liquid which is supplied from a coating liquid storage section 105 and contains thin-film components.例文帳に追加

スピンコータ１０２では、塗布液保管部１０５から供給される、薄膜成分を含む液体を基板上にスピンコートする。 - 特許庁

A spin coater 102 spin-coats a substrate with liquid which is supplied from a coating liquid storage part 105 and contains a thin film component.例文帳に追加

スピンコータ１０２では、塗布液保管部１０５から供給される、薄膜成分を含む液体を基板上にスピンコートする。 - 特許庁

When the processing liquid is discharged during the processing using the processing liquid, pure water is injected from a spin cup cleaning unit 26 to clean the processing liquid which stuck to the inside surface of a spin cup 22.例文帳に追加

薬液を吐出する薬液処理時に、スピンカップ洗浄手段26から純水を吐出し、スピンカップ22内面に付着した薬液を洗浄する。 - 特許庁

A treatment liquid supply pipe is inserted inside the spin chuck 21.例文帳に追加

スピンチャック２１の内部には、処理液供給管が挿通されている。 - 特許庁

Cleaning liquid nozzles 4 which inject cleaning liquid in a spray shape from injection ports are disposed on sides of a spin base 5 of a spin chuck 1.例文帳に追加

スピンチャック１のスピンベース５の側面に、洗浄液を噴射口からスプレー状に噴射する洗浄液ノズル４が設けられている。 - 特許庁

A substrate 12 for a liquid crystal is held by a substrate chuck 13 and is subjected to a processing using a processing liquid, pure wafer rinsing, and spin drying in the same spin cup 22.例文帳に追加

液晶用の基板12を基板チャック13で保持し、同一のスピンカップ22内で、薬液処理、純水リンス、およびスピン乾燥処理を行う。 - 特許庁

Liquid chemicals flowing on the spin base 10 splash from a guide part 60.例文帳に追加

一方、スピンベース１０上を流れる薬液は案内部６０から飛散する。 - 特許庁

The overflow tray 10 is positioned between a spin base 5 and the wafer W and forms a liquid film 7 of a treatment liquid.例文帳に追加

オーバーフロートレイ１０は、スピンベース５とウエハＷとの間に位置し、処理液の液膜７を形成する。 - 特許庁