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The suction body 10 is constituted of a perforated case 11 supported to a pair of teeth 3, and a number of suction agents which are stored in the case 11 and suck contaminants which work on the semiconductor wafer.例文帳に追加
そして、吸収体１０を、一対のティース３に支持される通気性のケース１１と、このケース１１に内蔵されて半導体ウェーハに作用する汚染物質を吸収する多数の吸収剤とから構成する。 - 特許庁
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