template method patternsとは 意味・読み方・使い方

By this method, the possibility that a template patterns which includes important words more numerously is selected as the optimum template pattern becomes high.例文帳に追加

この方法により、重要単語をより多く含むテンプレートパターンが、最適テンプレートパターンとして選択される可能性が高くなる。 - 特許庁

To provide a method of inspecting a template for nanoimprints for inspecting fine patterns precisely.例文帳に追加

精度良く微細なパターンを検査することが可能なナノインプリント用テンプレートの検査方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of forming a template for imprinting for improving the overlay accuracy of patterns and an imprinting method using the template formed by the method.例文帳に追加

パターンの重ね合わせ精度を向上させることが可能なインプリント用テンプレートの形成方法および、この方法により形成されたテンプレートを用いたインプリント方法を提供すること。 - 特許庁

The method of manufacturing the template includes a process for preparing a first template 10 that has a device pattern and two or more identification patterns, and a process for transcribing the device pattern and at least one desired identification pattern on a template substrate 30 to form a second template.例文帳に追加

デバイスパターン及び複数の識別パターンを有する第１のテンプレート１０を用意する工程と、デバイスパターン及び少なくとも１つの所望の識別パターンをテンプレート基板３０に転写して第２のテンプレートを形成する工程とを備える。 - 特許庁

To provide a method and device for performing accurate matching, even when there is deformation of some patterns and a magnification error between a template and an SEM image during matching, using the template including a plurality of patterns.例文帳に追加

本発明の目的は、複数のパターンを含むテンプレートを用いたマッチングの際に、一部のパターンの変形や、テンプレートとＳＥＭ画像間に倍率誤差がある場合であっても、高精度なマッチングが可能な方法、及び装置の提供にある。 - 特許庁

The method of inspecting a template for nanoimprints includes: the process for applying light to the template 100 from the back side of the template 100 for nanoimprints where patterns are formed on the surface; the process for detecting near-field light generated near the surface of the template 100 by irradiation with light; and the process for inspecting the template 100, based on the detected near-field light.例文帳に追加

表面にパターンが形成されたナノインプリント用のテンプレート１００の裏面側からテンプレート１００に光を照射する工程と、光の照射によってテンプレート１００の表面近傍に発生する近接場光を検出する工程と、検出された近接場光に基づいてテンプレート１００の検査を行う工程とを備える。 - 特許庁

This method of generating an uneven pattern is provided as a method of forming patterns in which uneven patterns in a template are filled with resist materials, and the depth of the uneven pattern formed in the template is adjusted or the uneven pattern is divided based on the relation between the size or shape of the uneven pattern and the charge time of the resist material.例文帳に追加

テンプレートの凹凸パターンにレジスト材料を充填するパターン形成方法に用いられる凹凸パターンの生成方法であって、凹凸パターンの寸法又は形状とレジスト材料の充填時間の関係に基づいて、テンプレートに形成する凹凸パターンの深さを調整する、又は、凹凸パターンを分割する。 - 特許庁