the Reticleとは 意味・読み方・使い方

The reticle cover (101) covers a surface of the reticle to be mounted on the reticle stage while the reticle (103) is not mounted on the reticle stage of a photolithography machine.例文帳に追加

本発明によるレチクル・カバー（１０１）は、レチクル（１０３）が露光装置のレチクル・ステージに取り付けられていないときに、レチクルの、レチクル・ステージに取り付けられる面を覆う。 - 特許庁

The reticle 1 is housed in an original reticle case 3 after the end of the inspection.例文帳に追加

検査終了後、レチクル１は元のレチクルケース３に収納される。 - 特許庁

The difference between the temporary corrected reticle data 17 and the temporary reticle data 15 is calculated.例文帳に追加

仮の修正レチクルデータ17と、仮のレチクルデータ15との差分を計算する。 - 特許庁

To provide a reticle holding unit or the like which is improved so as to be used for an EB exposure reticle by reforming a commodity reticle holding unit (reticle pod).例文帳に追加

市販のレチクル保持装置（レチクルポッド）をＥＢ露光用レチクル用に改良したレチクル保持装置等を提供する。 - 特許庁

WAFER, RETICLE AND EXPOSURE METHOD USING THE SAME WAFER AND RETICLE例文帳に追加

ウェハ及びレチクル並びにそのウェハとレチクルを用いた露光方法 - 特許庁

RETICLE AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE RETICLE例文帳に追加

レチクル及びそのレチクルを用いた半導体装置の製造方法 - 特許庁

A reticle mark formed on the reticle is measured by using a pre-alignment sensor 41 before and after the reticle is delivered from the whirling arm 40 to the reticle stage RST in the case of the first carrying of the reticle.例文帳に追加

レチクルの第１回目の搬送時には、旋回アーム４０からレチクルステージＲＳＴに受け渡される前後でプリアライメントセンサ４１を用いてレチクルに形成されたレチクルマークを計測する。 - 特許庁

To provide a reticle identification device which allows the exact identification of a reticle regardless of the material of the reticle, and a reticle used for the same.例文帳に追加

レチクルの材質に関係なく、正確にレチクルの識別を行うことができるレチクル識別装置及びそれに用いるレチクルを提供すること。 - 特許庁