To provide an optical integrator of wavefront splitting type which enables to obtain a uniform illuminance distribution over almost the whole of illuminated field which is formed even when the sizes of respective micro lenses are made small and the number of wavefront splitting is set in large numbers.例文帳に追加

各微小レンズのサイズを小さくして波面分割数を大きく設定しても、形成される照野のほぼ全体に亘って均一な照度分布を得ることのできる、波面分割型のオプティカルインテグレータ。 - 特許庁

This X-ray wavefront sensor includes a wavefront-splitting element for splitting incident X-rays into a plurality of light beams, and a measuring instrument which applies the beams to different areas of a sample and causes the reflected beams to interact with one another, to detect them.例文帳に追加

Ｘ線波面センサは、入射されるＸ線を複数の光束に分割する波面分割素子と、各光束を試料の異なる領域に照射し、それぞれの反射光を干渉させて検出する計測器とを備える。 - 特許庁

OPTICAL INTEGRATOR OF WAVEFRONT SPLITTING TYPE AND ILLUMINATING OPTICAL DEVICE PROVIDED WITH THE OPTICAL INTEGRATOR例文帳に追加

波面分割型のオプティカルインテグレータおよび該オプティカルインテグレータを備えた照明光学装置 - 特許庁

A wavefront splitting element (3) is arranged in an optical path between the lighting optical system (2) and the phase-shifting mask (1).例文帳に追加

照明光学系と位相シフトマスクとの間の光路中に波面分割素子（３）が配置されている。 - 特許庁

This wavefront splitting optical integrator (8) includes a first optical member (8a) and a second optical integrator (8b) arranged sequentially from the light incident side.例文帳に追加

光の入射側から順に第１光学部材（８ａ）と第２光学部材（８ｂ）とを備えた波面分割型のオプティカルインテグレータ（８）。 - 特許庁

This optical integrator of wave front splitting type has a large number of micro lenses which are arranged two-dimensionally, wavefront-splits an incident luminous flux and forms a large number of light sources.例文帳に追加

二次元的に配列された多数の微小レンズを有し、入射光束を波面分割して多数の光源を形成する波面分割型のオプティカルインテグレータ。 - 特許庁

A spot is photographed on a photographing surface 95S where the half width of a light intensity distribution of a spot image becomes smaller than an imaging surface CP of a wavefront splitting optical system constituted of a plurality of condensing elements with a small Fresnel number so that a cross-talk quantity between spot images is reduced in the photographed result.例文帳に追加

フレネル数が小さな複数の集光素子から構成される波面分割光学系９４の像面ＣＰよりもスポット像の光強度分布の半値全幅が小さくなる面を撮像面９５Ｓとしてスポットを撮像し、撮像結果におけるスポット像間のクロストーク量を低減する。 - 特許庁

The illumination optical apparatus has a wavefront splitting-type optical integrator (5) composed of multiple optical elements that are arranged in parallel in a light path between a light source (1) and an illuminated surface (M; W), and a capacitor optical system (6) arranged in the light path between the optical integrator and the illuminated surface.例文帳に追加

光源（１）と被照射面（Ｍ；Ｗ）との間の光路中に並列的に配置された複数の光学要素からなる波面分割型のオプティカルインテグレータ（５）と、オプティカルインテグレータと被照射面の間の光路中に配置されたコンデンサー光学系（６）とを備えている。 - 特許庁