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AMHsを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 8



例文

To provide an Automated Material Handling System (AMHS) with verification feature to ensure a lot is not misidentified.例文帳に追加

ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をAMHSシステムを提供する。 - 特許庁

The AMHS 300 is provided with the circuit for urgently stopping a vehicle 320 and a hand 330 of the AMHS 300 when the ES signal inputted through the optical I/O is turned off.例文帳に追加

AMHS300は、光I/Oを介して入力されるES信号がオフになると、AMHS300のビークル320およびハンド330を緊急停止させる回路を含む。 - 特許庁

The semiconductor manufacturing system includes a semiconductor manufacture device 100 that is a passive device and an AMHS 300 that is an active device.例文帳に追加

半導体製造システムは、パッシブ装置である半導体製造装置100と、アクティブ装置であるAMHS300とを含む。 - 特許庁

The communication logging device 20 is respectively connected to a semiconductor manufacturing apparatus 16 and an AMHS controller 12 via a D-sub25 interface.例文帳に追加

通信記録装置20は、D−sub25インタフェースを介して、半導体製造装置16およびAMHSコントローラ12にそれぞれ接続される。 - 特許庁

例文

The wafer, which has measurement completed, is automatically re-transferred to the production device 20 side by the AMHS 70, and the wafer which has been processed in advance can be jointed with the wafer which has not been processed in advance on the manufacturing apparatus 20.例文帳に追加

測定が終了したウェーハは再びAMHS70により製造装置20側へ自動的に搬送され、製造装置20上で先行処理されたウェーハと先行処理されなかったウェーハとを合流することができる。 - 特許庁


例文

A semiconductor manufacture device control board 120 is provided with a circuit for turning off ES signals outputted through an optical I/O to the AMHS 300 without stopping the semiconductor manufacture device 100 in response to input from an ES button 124.例文帳に追加

半導体製造装置制御盤120は、ESボタン124からの入力に応答して、半導体製造装置100を停止させることなく、光I/Oを経由してAMHS300に出力されるES信号をオフにする回路を含む。 - 特許庁

A host computer 1 receives transfer requirements from a process device 3 (4, 5), and dispatches the requirements to a trigger for a product lot containing non-product wafers kept in custody in a storage shelf 6, and sends a transfer command for the target lot to an AMHS 7.例文帳に追加

ホストコンピュータ1は、プロセス装置3(4、5)から搬送要求を受信し、この要求をトリガに保管棚6に保管されている非製品ウェハを含む製品ロットを対象にディスパッチし、AMHS7に対して対象ロットの搬送指令を出す。 - 特許庁

例文

Moreover, the communication logging device 20 also includes a microcomputer 30 constituted for logging contents of change of signals communicated between the semiconductor manufacturing apparatus 16 and the AMHS controller 12 to a RAM 44 as the first communication data after addition of the time stamp for each content of change.例文帳に追加

さらに、通信記録装置20は、半導体製造装置16およびAMHSコントローラ12との間で通信される信号の変化内容を、変化内容ごとにタイムスタンプを付加した上で、第1の通信情報としてRAM44に記録するように構成されたマイコン30を備える。 - 特許庁

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