AMHsとは 意味・読み方・使い方

To provide an Automated Material Handling System (AMHS) with verification feature to ensure a lot is not misidentified.例文帳に追加

ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をＡＭＨＳシステムを提供する。 - 特許庁

The AMHS 300 is provided with the circuit for urgently stopping a vehicle 320 and a hand 330 of the AMHS 300 when the ES signal inputted through the optical I/O is turned off.例文帳に追加

ＡＭＨＳ３００は、光Ｉ／Ｏを介して入力されるＥＳ信号がオフになると、ＡＭＨＳ３００のビークル３２０およびハンド３３０を緊急停止させる回路を含む。 - 特許庁

The semiconductor manufacturing system includes a semiconductor manufacture device 100 that is a passive device and an AMHS 300 that is an active device.例文帳に追加

半導体製造システムは、パッシブ装置である半導体製造装置１００と、アクティブ装置であるＡＭＨＳ３００とを含む。 - 特許庁

The communication logging device 20 is respectively connected to a semiconductor manufacturing apparatus 16 and an AMHS controller 12 via a D-sub25 interface.例文帳に追加

通信記録装置２０は、Ｄ−ｓｕｂ２５インタフェースを介して、半導体製造装置１６およびＡＭＨＳコントローラ１２にそれぞれ接続される。 - 特許庁

The wafer, which has measurement completed, is automatically re-transferred to the production device 20 side by the AMHS 70, and the wafer which has been processed in advance can be jointed with the wafer which has not been processed in advance on the manufacturing apparatus 20.例文帳に追加

測定が終了したウェーハは再びＡＭＨＳ７０により製造装置２０側へ自動的に搬送され、製造装置２０上で先行処理されたウェーハと先行処理されなかったウェーハとを合流することができる。 - 特許庁

A semiconductor manufacture device control board 120 is provided with a circuit for turning off ES signals outputted through an optical I/O to the AMHS 300 without stopping the semiconductor manufacture device 100 in response to input from an ES button 124.例文帳に追加

半導体製造装置制御盤１２０は、ＥＳボタン１２４からの入力に応答して、半導体製造装置１００を停止させることなく、光Ｉ／Ｏを経由してＡＭＨＳ３００に出力されるＥＳ信号をオフにする回路を含む。 - 特許庁

A host computer 1 receives transfer requirements from a process device 3 (4, 5), and dispatches the requirements to a trigger for a product lot containing non-product wafers kept in custody in a storage shelf 6, and sends a transfer command for the target lot to an AMHS 7.例文帳に追加

ホストコンピュータ１は、プロセス装置３（４、５）から搬送要求を受信し、この要求をトリガに保管棚６に保管されている非製品ウェハを含む製品ロットを対象にディスパッチし、ＡＭＨＳ７に対して対象ロットの搬送指令を出す。 - 特許庁