例文 (999件) |
Exposure Stageの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1021件
LINEAR MOTOR, STAGE APPARATUS, EXPOSURE SYSTEM, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
リニアモータ、ステージ装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, MANUFACTURING METHOD THEREOF, STAGE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加
リニアモータとその製造方法、ステージ装置及び露光装置 - 特許庁
HOLDING DEVICE, STAGE APPARATUS, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
保持装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
ACTUATOR, STAGE DEVICE, EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
アクチュエータ、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE AND WIRING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法、配線方法 - 特許庁
SUBSTRATE STAGE DEVICE AND SEMICONDUCTOR EXPOSURE DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
基板ステージ装置および該基板ステージ装置を用いた半導体露光装置 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND DISPLAY PANEL例文帳に追加
ステージ装置、露光装置及び表示用パネルの製造方法 - 特許庁
SUPPORTING APPARATUS, ITS MANUFACTURING METHOD, STAGE UNIT AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加
支持装置とその製造方法およびステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
POSITIONING DEVICE, STAGE DEVICE, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決め装置、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
SUPPORTING APPARATUS, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
支持装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE, CONTROL SYSTEM, EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、制御システム、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE AND EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
ステージ装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE USING IT AND DEVICE PRODUCTION METHOD例文帳に追加
ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE EQUIPMENT, STAGE MANUFACTURING METHOD OF THE SAME, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光装置のステージ製造方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
MOTOR DEVICE, STAGE DEVICE, EXPOSURE EQUIPMENT, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
モータ装置、ステージ装置及び露光装置並びにデバイス製造方法 - 特許庁
The speed of the vibration by the stage 3 for exposure is higher than the speed of the movement.例文帳に追加
露光用ステージ3による振動の速さは、移動の速さよりも速い。 - 特許庁
STAGE DEVICE, MEASURING APPARATUS AND METHOD, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
ステージ装置、計測装置及び計測方法、露光装置及び露光方法 - 特許庁
A stage holds an exposure object having a photosensitive film formed on the surface.例文帳に追加
ステージが、感光膜が表面に形成された露光対象物を保持する。 - 特許庁
A stage holds an exposure object having a photosensitive film formed on the surface.例文帳に追加
ステージが、表面に感光膜が形成された露光対象物を保持する。 - 特許庁
MOTOR DRIVE DEVICE, STAGE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE HAVING THE SAME例文帳に追加
モータ駆動装置、ステージ装置、およびそれを備えた露光装置 - 特許庁
METHOD FOR CALCULATING CORRECTION INFORMATION, METHOD FOR CONTROLLING MOVABLE STAGE, AND EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加
補正情報算出方法、可動ステージの制御方法、及び露光装置 - 特許庁
RETAINING DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR RETAINING METHOD, STAGE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加
保持装置、保持方法、ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD OF REGULATING TEMPERATURE, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
温調方法、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE, STEPPER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
リニアモータ、ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR MULTI-STAGE PIXEL DENSITY SEQUENTIAL EXPOSURE OF MACHINE PLATE FOR PRINTING例文帳に追加
印刷用刷版の画素密度複数段同時露光方法及びその装置 - 特許庁
STAGE CONTROL METHOD AND EQUIPMENT, AND EXPOSURE METHOD AND EQUIPMENT例文帳に追加
ステージ制御方法及び装置並びに露光方法及び装置 - 特許庁
FORCE-GENERATING APPARATUS, STAGE APPARATUS USING THE SAME AND EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加
力発生装置およびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置 - 特許庁
STAGE APPARATUS, ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 - 特許庁
The substrate stage can be moved while holding a substrate as an exposure object.例文帳に追加
基板ステージは、被露光対象としての基板を保持して移動可能である。 - 特許庁
To achieve weight saving and downsizing of a mask stage apparatus for a large exposure apparatus.例文帳に追加
大型の露光装置用マスクステージ装置を軽量化、小型化すること。 - 特許庁
BASE MEMBER, ITS MANUFACTURING METHOD, STAGE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加
ベース部材とその製造方法及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE USING THE SAME, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
To provide an exposure apparatus capable of easily conveying a stage device.例文帳に追加
ステージ装置を容易に搬送できる露光装置を提供する。 - 特許庁
STAGE SYSTEM AND METHOD OF CONTROLLING POSITION THEREOF, AND ALIGNER AND METHOD OF EXPOSURE例文帳に追加
ステージ装置とその位置制御方法および露光装置並びに露光方法 - 特許庁
SUBSTRATE TEMPERATURE ADJUSTING UNIT, STAGE UNIT, EXPOSURE UNIT, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
基板温調装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
REFLECTIVE MEMBER STRUCTURE OF POSITION MEASURING DEVICE, STAGE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加
位置計測装置の反射部材構造及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
DRIVING MECHANISM, FINE MOVING STAGE, EXPOSURE SYSTEM, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
駆動機構、微動ステージ、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND STAGE DEVICE AND CONVEYING METHOD THEREOF例文帳に追加
露光装置とその製造方法、及びステージ装置とその搬送方法 - 特許庁
WORK STAGE AND METHOD FOR MEASURING ITS POSITION, AND EXPOSURE DEVICE EQUIPPED WITH THIS例文帳に追加
ワークステージ及びその位置測定方法、並びにこれを備えた露光装置 - 特許庁
STAGE EQUIPMENT, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
CONTROL METHOD FOR STAGE DEVICE, EXPOSURE SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD FOR DEVICE例文帳に追加
ステージ装置の制御方法、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD USING IT, AND STAGE APPARATUS例文帳に追加
露光装置とこれを用いたデバイス製造方法、ならびにステージ装置 - 特許庁
MOTOR DRIVER, STAGE APPARATUS, EXPOSURE SYSTEM, AND METHOD OF DRIVING MOTOR例文帳に追加
モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置、および、モータ駆動方法 - 特許庁
POSITIONING STAGE UNIT, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決めステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE EQUIPMENT AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置及びその制御方法、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
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