inplaneとは 意味・読み方・使い方

A plurality of heating lines which are respectively parallel in the principal axial direction of the inplane strain (step S13).例文帳に追加

前記面内歪みの主軸方向にそれぞれ平行な複数の加熱線を配置する（ステップＳ１３）。 - 特許庁

To provide a workmanship prediction device which can reduce calculation quantity and calculation time necessary for predicting the workmanship of a wafer inplane through wafer inplane trend simulation.例文帳に追加

ウェハ面内傾向シミュレーションでウェハ面内の出来栄えを予測するときの計算量及び計算時間を低減可能な出来栄え予測装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a ruthenium compound having excellent inplane uniformity, and to provide a ruthenium-containing thin film obtained from the compound.例文帳に追加

面内均一性に優れた、ルテニウム化合物の製造方法並びに該化合物により得られたルテニウム含有薄膜を提供する。 - 特許庁

Therefore, a temperature difference between the processing gas and the shower plate 21 is controlled and the uniformity of the inplane temperature of the shower plate 21 is improved.例文帳に追加

これによって、処理ガスとシャワープレート２１との温度差が抑えられ、シャワープレート２１の面内温度の均一性が向上する。 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method for improving inplane uniformity of substrate processing with a simplified mechanism.例文帳に追加

簡素化された機構で基板処理の面内均一性を向上させる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fly-eye mirror or the like with which inplane intensity distribution of an illuminating beam entering the surface of a mirror is monitored in real time.例文帳に追加

ミラー面に入射する照明ビームの面内強度分布をリアルタイムでモニターすることのできるフライアイミラー等を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate processing method and a substrate processing apparatus improving the inplane uniformity of substrate processing by a chemical solution.例文帳に追加

薬液による基板処理の面内均一性を向上することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a display device fixed structure capable of relaxing a load applying to an inplane direction along the display surface of the display device.例文帳に追加

本発明は、表示装置の表示面に沿って面内方向に加わる荷重を緩和させることのできる表示装置固定構造を提供する。 - 特許庁