ろくふっかいおうの英語

六フッ化硫黄リモートプラズマ源洗浄例文帳に追加

CLEANING OF SULFUR HEXAFLUORIDE REMOTE PLASMA SOURCE - 特許庁

六フッ化硫黄の精製方法及び装置例文帳に追加

METHOD AND DEVICE FOR REFINING SULFUR HEXAFLUORIDE - 特許庁

本発明の課題は、六フッ化硫黄に有機アルカリ金属化合物を接触させることを特徴とする、六フッ化硫黄の分解方法によって解決される。例文帳に追加

The cracking method of sulfur hexafluoride is characterized by contacting an organic alkali metal compound to sulfur hexafluoride. - 特許庁

六フッ化硫黄分解ガスに耐性に優れ、しかも高い破壊靭性値を有する六フッ化硫黄ガス絶縁機器用繊維強化材料を提供する。例文帳に追加

To provide a fiber-reinforced composite material for sulfur hexafluoride gas-insulated apparatuses exhibiting excellent resistance to sulfur hexafluoride-decomposate gases and having a high fracture toughness. - 特許庁

六フッ化硫黄（ＳＦ_６）又は四フッ化炭素（ＣＦ_４）を含有する混合ガスから、六フッ化硫黄又は四フッ化炭素をＭＦＩ型ゼオライト膜に選択的に透過させることにより、六フッ化硫黄又は四フッ化炭素を分離することができるＭＦＩ型ゼオライト膜配設体を提供する。例文帳に追加

To provide a body provided with a MFI type zeolite membrane capable of separating sulfur hexafluoride or carbon tetrafluoride from a gaseous mixture containing sulfur hexafluoride (SF_6) or carbon tetrafluoride (CF_4) by selectively permeating sulfur hexafluoride or carbon tetrafluoride through the MFI type zeolite membrane. - 特許庁

フッ素-含有ガスは三フッ化窒素(NF_3)、六フッ化硫黄(SF_6)及び三フッ化塩素(ClF_3)よりなる群から選択されたガスである。例文帳に追加

Fluorine containing gas is selected from among a group, consisting of nitrogen trifluoride (NF3), sulfur hexafluoride (SF6) and chlorine trifluoride (ClF3). - 特許庁

窒素中に六フッ化硫黄を含む混合ガスから六フッ化硫黄を高純度、高回収率で回収することができ、排出される窒素には六フッ化硫黄がほとんど含まれない状態にすることができる六フッ化硫黄の精製方法及び装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and a device for refining sulfur hexafluoride by which the sulfur hexafluoride can be recovered from a gaseous mixture containing the sulfur hexafluoride in nitrogen at high purity and a high recovery rate, and the exhausted nitrogen is hardly contain the sulfur hexafluoride. - 特許庁

六フッ化硫黄を効率よく分解する方法と分解生成物を無害化処理する方法の提供。例文帳に追加

To provide a method for efficiently decomposing sulfur hexafluoride and to provide a method for detoxifying a decomposed product. - 特許庁