ジボランの英語

ガスとしてジボランやホスフィンなどの不純物を含む低濃度のガスを用いる。例文帳に追加

The gas used herein is a gas with a low concentration which contains impurities such as diborane or phosphine. - 特許庁

本発明は、ジボランを使用するゲルマニウム膜の低温成長をうまく実現する。例文帳に追加

This invention successfully achieves low temperature growth of germanium films using diboran. - 特許庁

干渉誤差を可及的に抑えつつ、ジボランを高い感度で検出すること。例文帳に追加

To detect diborane at high accuracy while reducing interference errors as low as possible. - 特許庁

ソジウムボロハイドライドとジボランを反応させることで反応中間体であるＮａＢ_2 Ｈ_7 を生成する。例文帳に追加

Sodium borohydride is reacted with diborane to generate NaB_2H_7 as a reaction intermediate. - 特許庁

最初に、ジボランガスが４００℃未満の温度で反応炉内に供給される。例文帳に追加

First, diboran gas is supplied into a reaction chamber at a temperature below 400 DEG C. - 特許庁

不純物である塩化メチルおよびメタンを発生することなく純度の高いジボランを収率良く得ることができ、リサイクル可能な溶媒の歩留りを向上できるジボランの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for producing diborane which can obtain high purity diborane in a good yield without generating methyl chloride and methane as impurities, and which can improve yield of a recyclable solvent. - 特許庁

粗製ジボランの供給源２から凝縮器７へのジボラン流路８に、相異なる種類の吸着剤３ａ、３ｂ、３ｃを収納した複数の吸着槽４ａ、４ｂ、４ｃが直列に配置される。例文帳に追加

A plurality of the adsorbing tanks 4a, 4b and 4c storing different kinds of the adsorbents 3a, 3b and 3c are arranged in series in a diborane flow path 8 from the supplying source 2 of the crude diborane to a condenser 7. - 特許庁

このような非選択エピタキシャル成長では、原料ガスとして、モノシラン、水素、ジボラン及びゲルマンを用いる。例文帳に追加

In the above nonselective epitaxial growth, monosilane, hydrogen, diborane and germane are used as raw material gas. - 特許庁