プロセス故障解析の英語

プロセス制御コントローラの故障解析支援システム例文帳に追加

FAULT ANALYSIS ASSISTING SYSTEM FOR PROCESS CONTROLLER - 特許庁

半導体プロセスの微細化、多層配線化に伴って、困難となってきた半導体デバイスの故障個所の解析を容易に行える故障個所解析装置及びその方法を提供する。例文帳に追加

To provide a device and a method, capable of easily performing the analysis of the defective portion of a semiconductor device which becomes difficult according to the microfabrication of a semiconductor process and multi-layer wiring. - 特許庁

制御プログラムの各命令実行結果データの変化のトレースバックにより、真の故障原因の早期発見が可能なプロセス制御コントローラの故障解析支援システムを得る。例文帳に追加

To obtain a fault analysis assisting system for process controller by which the true cause of a fault is discovered in its early stages by trace back of changes of execution result data of each instruction of a control program. - 特許庁

モデル化装置及びモデル解析方法並びにプロセス異常検出・分類システム及びプロセス異常検出・分類方法並びにモデル化システム及びモデル化方法並びに故障予知システム及びモデル化装置の更新方法例文帳に追加

MODELING DEVICE AND MODEL ANALYSIS METHOD, SYSTEM AND METHOD FOR PROCESS ABNORMALITY DETECTION/CLASSIFICATION, MODELING SYSTEM, AND MODELING METHOD, AND FAILURE PREDICTING SYSTEM AND METHOD OF UPDATING MODELING APPARATUS - 特許庁

被解析対象物である半導体集積回路装置に電子ビームを照射して電位コントラストを取得することにより、プロセス欠陥に起因する不良又は故障を解析する電子ビームテストシステムである。例文帳に追加

The electron beam test system analyzes faulty or breakdown caused by a process defect by irradiating an electron beam to a semiconductor integrated circuit device to be analyzed and obtaining a potential contrast. - 特許庁

製品のＩＤをキーに、プロセス特徴量データと検査データ並びに故障データを結合し、データフィルター部１０ｃにて不正データを削除して生成した解析用データを、解析部１０ｄにてデータマイニングにより解析しモデルを作成する。例文帳に追加

The ID of a product is used as a key, the process characteristic quantity data, a test data and a failure data are combined, and data for analysis that are generated by deleting invalid data in a data filter 10c is analyzed through data mining by an analysis part 10d to create a model. - 特許庁

３次元構造評価方法に関し、簡単な手段に依って、評価対象物の表面から内部へ向かう形状や元素の分布の変化を立体的に知ることができるようにして、種々なデバイスや部品などの製造プロセスの確認や故障解析など行うことを可能にする。例文帳に追加

To provide a method for evaluating a three-dimensional structure capable of checking or analyzing a failure of a process for manufacturing various devices or parts by allowing a user to know a shape of a sample to be evaluated from the surface to the interior or the distribution of the atom in three dimensions. - 特許庁