体節板の英語

基板へ気体を噴出する気体噴出部が基板搬送部に設けられており、この気体の温度を調節する温度調節部を備えるので、当該温度調節部によって基板へ噴出される気体の温度を調節することができる。例文帳に追加

Since a gas jetting part jetting gas to a substrate is provided for a substrate transport part, and a temperature regulating part for regulating the temperature of the gas is arranged, the temperature of the gas jetted to the substrate can be regulated by the temperature regulating part. - 特許庁

従来の温度調節したエアを基板へダウンフローして基板を冷却する方法に比べ、温度調節する気体が少なく済み、少ない気体で効率良く基板１の温度が調節される。例文帳に追加

As compared with conventional methods of applying down flow of temperature-controlled air to a substrate to cool, a smaller volume of gas is temperature-controlled, and the temperature of the substrate 1 can be adjusted efficiently using a smaller volume of gas. - 特許庁

半導体材料で作られた基板の表面上または基板内の歪みを調節するプロセス例文帳に追加

PROCESS FOR ADJUSTING STRAIN ON SURFACE OR INSIDE OF SUBSTRATE MADE FROM SEMICONDUCTOR MATERIAL - 特許庁

温度調節対象の温度を調節する第１の温調流体１５を循環させる第１の流路１６の一部は基板処理部を通る。例文帳に追加

A part of a first flow passage 16 which circulates a first temperature controlling fluid 15 for controlling temperature of an object of temperature control passes trough a substrate processing part. - 特許庁

加熱・冷却中に半導体基板に反りが発生せず、半導体基板を迅速に冷却できる温度調節装置の熱伝導板を提供する。例文帳に追加

To provide the heat conducting plate of a temperature adjusting apparatus rapidly cooling a semiconductor substrate without generating warpage in the semiconductor substrate during heating/cooling. - 特許庁

基板搭載台３１の表面に設けた複数の送風口３４から、基板搭載台３１と基板１との間に形成した隙間へ温度調節した気体を流して、基板１の温度を調節する。例文帳に追加

A temperature-controlled gas is made to flow, from a plurality of blowing ports 34 provided on the surface of the substrate mount base 31 to the gap, formed between the substrate-mounting base 31 and the substrate 1 so as to have the temperature of the substrate 1 adjusted. - 特許庁

多数個の高さ調節棒と棒の間に硬度のある多数個の板体部材を連続してつなぎ合わせる。例文帳に追加

Many hard plate body members are continuously connected together between many height adjusting rods. - 特許庁

省電力で基板間の間隔を調節することができる表示媒体を提供すること。例文帳に追加

To provide a display medium wherein an interval between substrates can be adjusted by a saved power. - 特許庁