光本の英語

露光中の照明光学系の振動が、露光本体部に与える影響を軽減して、露光精度の向上を図る。例文帳に追加

To improve exposure accuracy by reducing the influences of vibration of an illumination optical system during exposure on a light exposure main part. - 特許庁

露光装置は、パターンを基板に露光する露光本体装置と、この本体装置に接続される複数の周辺装置とを備えている。例文帳に追加

This aligner is provided with the exposure main body apparatus wherein a pattern is exposed on a substrate, and a plurality of the peripheral apparatuses to be connected with the main body apparatus. - 特許庁

露光本体部４０を支える除振台は、除振パッド４Ａ〜４Ｄとアクチュエータ７Ａ〜７Ｄとによって上下方向に除振駆動される。例文帳に追加

An oscillation removing stage which supports an exposure main body is driven in the vertical directions by oscillation removing of oscillation removing pads 4A to 4D and actuators 7A to 7D. - 特許庁

露光本体部１ａの露光に関する処理に応じて、調整装置２３の調整状態を変更する変更装置２４を備えた。例文帳に追加

It is equipped with a changing device 24 changing the adjusting condition of the device 23 in accordance with processing concerning exposure by the main body part 1a. - 特許庁

本発明のスティック状照明器具（１）は、発光本体（２）の内部に、ＬＥＤチップからなる発光体（１０）を複数配設するとともに、前記発光体（１０）をから照射される光の前方に、発光本体（２）に貫通された状態に穿孔された光屈折部（２０）を穿設し、一体成形たことを特徴とする。例文帳に追加

The stick-like lighting fixture (1) is provided with a plurality of light-emitting bodies (10) consisting of LED chips arranged inside a light-emitting body (2), and a light refraction part (20) perforated at forward of light irradiated from the light-emitting bodies (10) in a state penetrated into the light-emitting body (2), and integrally molded. - 特許庁

デバイス製造システムＳＹＳは、パターンを基板Ｐに露光する露光本体部ＥＸと、露光本体部ＥＸからステージ部ＳＴまで基板Ｐを搬送する搬送装置Ｈ１，Ｈ２と、ステージ部ＳＴから基板収納装置Ｆまで基板Ｐを搬送する搬送装置Ｈ３とを有している。例文帳に追加

The device production system SYS has an exposure body portion EX which exposes a substrate P to light to transfer a pattern to the substrate P; conveying units H1 and H2 for conveying the substrate P from the exposure body portion EX to a stage portion ST; and a conveying unit H3 for conveying the substrate P from the stage portion ST to a substrate housing apparatus F. - 特許庁

プレート形状を有する基板100、基板の第１面に互いに所定間隔で離隔された蛇行通路を形成するために蛇行形状で配置された発光本体200、発光本体の内部で内部光を発生させる光発生装置400、及び外部光を反射させるために蛇行通路の間に形成された外部光反射部材300を含む。例文帳に追加

The device includes a plate-like substrate 100, light emitting main bodies 200 disposed in a meandering shape so as to form meandering passages mutually separated with prescribed intervals on a first face of the substrate 100, light emitting devices 400 emitting inner light inside the main bodies 200, and external light reflecting members 300 formed between the meandering passages so as to reflect external light. - 特許庁

キャリブレーションに悪影響が及ぶことを防止するとともに、露光処理に伴う露光本体部の温度変化を抑制して、キャリブレーションの実行間隔を長くする。例文帳に追加

To make an interval for performing calibration longer by preventing adverse influence from being exerted on the calibration and restraining the temperature change of an exposure main body part associated with exposure processing. - 特許庁