円板電極の英語

円筒状のカソード電極（ターゲットを含む）を用い、又、円板状のアノード電極及び、リング状マグネットをスムージングさせる。例文帳に追加

A cylindrical cathode electrode (including a target) is used, and a disk-shaped anode electrode and a ring-shaped magnet are smoothed. - 特許庁

可動電極板１３と固定電極板１４を平板でなく、それぞれ同心円状に波形部１３ｂ、１４ｂを持つ曲面とする。例文帳に追加

The movable electrode plate 13 and the fixed electrode plate 14 are not formed as a plate, but are respectively formed as a curved surface having waveform parts 13b and 14b in a concentrically circular shape. - 特許庁

また、各放電電極１の中間位置に、シャフト３により円板形状の仕切板２を放電電極１と平行に支持する。例文帳に追加

A disc-shaped partition plate 2 is supported on the shaft 3 at an intermediate position between the discharge electrodes 1 in parallel to the discharge electrodes 1. - 特許庁

静電チャック５は、真空容器１の底面上に配設された円板状の絶縁板２７と、絶縁板２７の端縁部上に配設されたリング状の電極５Ａと、電極５Ａの開口部内に配設され、電極５Ａと同心をなす円板状の電極５Ｂとを備えている。例文帳に追加

The chuck 5 is provided with a discal insulating board 27 provided on the bottom of the container 1, a ring- shaped electrode 5A provided on the edge part of the end of the board 27 and a discal electrode 5B, which is provided in an aperture provided in the electrode 5A and concentric with the electrode 5A. - 特許庁

上部電極２ａ，２ｂは全体として円板形をしており、円板の中央部分に上部電極２ａが、周縁部分に上部電極２ｂがそれぞれ配置されている。例文帳に追加

The upper electrodes 2a, 2b are formed into a disc, as a whole, wherein the upper electrode 2a is arranged in the center of the disc and the upper electrode 2b is arranged at the circumferential fringe part. - 特許庁

ボート４３の保持柱４６に半円形の第一電極板５１と半円形の第二電極板５２と誘電体５３とを備えた電極体５０を各段のウエハ１に対応して架設する。例文帳に追加

An electrode body 50, having a semi-circular first electrode plate 51, a semi-circular second electrode plate 52, and a dielectric 53, is installed in a holding pillar 46 of a boat 43 corresponding to a wafer 1 of each stage. - 特許庁

セパレータ２８は、複数の円板部３６を備え、前記円板部３６の両面には、電解質・電極接合体２６のアノード電極２４及びカソード電極２２に接する第１及び第２突起部４８、５２が形成される。例文帳に追加

Each separator 28 has a plurality of circular plates 36, and a first and a second protrusions 48, 52 contacting with an anode electrode 24 and a cathode electrode 22 of each junction 26 are formed on opposed sides of each plate 36. - 特許庁

セパレータ２８は、複数の円板部３６を備え、前記円板部３６の両面には、電解質・電極接合体２６のアノード電極２４及びカソード電極２２に接する第１及び第２突起部４８、５２が形成される。例文帳に追加

The separator 28 has a plurality of circular plates 36, and a first projection part 48 and a second projection part 52 coming in contact with an anode electrode 24 and a cathode electrode 22 of the electrolyte/electrode assembly 26 respectively are formed on both surfaces of the circular plate 36. - 特許庁