半局所環の英語

半導体製造工程において形成される局所空間内部の環境を精密かつ動的に測定する。例文帳に追加

To precisely and dynamically measure environments inside local spaces formed in semiconductor production processes. - 特許庁

局所的クリーン環境（ミニエンバイロメント）方式を用いる半導体ウエハの移送、製造工程において、高清浄度における消費電力を小さくし、さらなるランニングコストを低減した方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method in which power consumption in high cleanliness is reduced and the running cost is further decreased, in processes of transferring and manufacturing a semiconductor wafer by use of a locally clean environment (mini-environment) system. - 特許庁

クリーンルーム内に局所的清浄環境を形成することで、クリーンルーム全体の高清浄度化を不要とし、コスト削減や省エネルギー化等を可能にするとともに、その場合であってもケミカルフィルタの寿命を十分に確保することかでき、半導体装置等の製造の長期的な安定化と信頼性向上を図れるようにする。例文帳に追加

To sufficiently secure the lives of chemical filters and actualize longer stablility and higher reliability in manufacture of semiconductor devices while reducing cost and saving energy by forming local clean environment in a clean room to eliminate the need for high cleanliness of the whole clean room. - 特許庁

本発明は、冷媒自然循環サイクルに、ラックの間に設置し半局所冷却運転を行う冷却装置を備えた冷却システムにおいて、電子機器の温度上昇を防止しながら、負荷に応じて冷却装置の送風量を制御することによりランニングコストを削減し、省エネ性の高い冷却システムを提供する。例文帳に追加

To provide a cooling system including a cooling apparatus which is installed between racks and performs semi-local cooling operation in a refrigerant natural circulation cycle, the cooling system having high energy-saving performance and allowing the running cost thereof to be reduced by controlling an air blow quantity of the cooling apparatus in accordance with a load while preventing a temperature rise of electronic devices. - 特許庁