噴霧小滴法の英語

上記の目的を解決するために、この発明の二酸化炭素マイクロバブル含有水供給方法は、マイクロバブル発生装置２に二酸化炭素と水を導入して二酸化炭素マイクロバブル含有水を生成し、この二酸化炭素マイクロバブル含有水を噴霧ノズル４で栽培植物ｘの局所に対して微小水滴として吐出することを特徴とする。例文帳に追加

The method for supplying carbon dioxide microbubble-containing water includes introducing carbon dioxide and water to a microbubble generation device 2 to generate carbon dioxide microbubble-containing water, and discharging the carbon dioxide microbubble-containing water as minute water droplets to a local portion of the cultivation plant x with a spray nozzle 4. - 特許庁

本発明は、レジスト液の使用量が極わずかで溶媒が蒸発しやすいレジスト噴霧塗布方法において、ウェハー基板載置台の温度ドリフトを極力小さくすることにより、霧状のレジスト液が基板表面に到達する前に溶媒が蒸発せず、微細液滴状態で均一に塗布でき、均一塗布後はこれを迅速に乾固化させるレジスト塗布装置を提供することをその課題とする。例文帳に追加

To provide a resist coating device which uniformly applies misty resist liquid in very fine liquid droplets without evaporating the solvent before the misty resist liquid reaches a surface of the substrate by reducing temperature drift of a wafer substrate mounting base, and rapidly drying and caking the resist after uniformly applied, in a resist spray coating method in which a used amount of resist liquid is very small and the solvent is easily evaporated. - 特許庁