微細欠陥の英語

微細構造物中の欠陥を検出する方法例文帳に追加

METHOD FOR DETECTING FLAW IN MICROSTRUCTURE - 特許庁

微細構造観察方法および欠陥検査装置例文帳に追加

METHOD OF OBSERVING MICROSTRUCTURE, AND FLAW INSPECTION DEVICE - 特許庁

微細構造を有する部材の欠陥除去方法例文帳に追加

METHOD OF REMOVING DEFECT FROM MEMBER HAVING FINE STRUCTURE - 特許庁

微細パタ−ンの欠陥検出方法及び装置例文帳に追加

METHOD AND DEVICE FOR DETECTING DEFECT OF MICRO PATTERN - 特許庁

擬似欠陥の発生を最大限抑えながら、フォトマスク上の微細な実欠陥を検出する。例文帳に追加

To provide an inspection apparatus which detects minute real defects on a photomask while maximally preventing spurious defects from occurring. - 特許庁

検査範囲１４の欠陥からの散乱光は強いから、微細な欠陥でも検出される。例文帳に追加

The scattered light from the defect in the inspection range 14 is strong, so that even a fine defect can be detected. - 特許庁

微細パターン中の微小なオープン欠陥やショート欠陥を検出する手法を提供する。例文帳に追加

To provide a technique for detecting the minute open defect or short defect in a fine pattern. - 特許庁

微細凹凸パターンの欠陥判定方法、および、パターンドメディアの欠陥判定方法例文帳に追加

METHOD FOR DETERMINING DEFECT OF FINE CONVEX-CONCAVE PATTERN AND METHOD FOR DETERMINING DEFECT OF PATTERNED MEDIA - 特許庁