極薄シリコンの英語

シリコン基板にリーク電流密度の低い高品質の極薄二酸化シリコン膜を膜厚の制御性よく低温で形成する。例文帳に追加

To provide a method for forming an extremely thin silicon oxide film of low leak current density and high quality on a silicon substrate at a low temperature with highly controllablity of film thickness. - 特許庁

下部電極１２と絶縁性基板１１との間に下部電極１２から電子通過部５が剥れるのを防止する薄膜（例えば、ノンドープの多結晶シリコン、ノンドープのアモルファスシリコン、酸化シリコン、窒化シリコンなど）からなる剥れ防止層１３を介在させてある。例文帳に追加

A peeling off preventing layer 13 comprising a thin film made of (for example, non-doping polycrystalline silicon, non-doping amorphous silicone, silicon oxide, silicon nitride, or the like) preventing the peeling off of the electron passing part 5 from the lower electrode is placed between the lower electrode 12 and an insulating substrate 11. - 特許庁

このような構成によれば、凸部１３とシリコン薄膜電極１４は共にシリコンにより形成されているので固着することがなく、シリコン基板２と絶縁層２０を陽極接合する際にシリコン基板２が絶縁層２０に貼り付くことをより確実に防止できる。例文帳に追加

The projection 13 and the silicon thin film electrode 14 do not adhere each other because both of them are formed of silicon by this constitution, and the silicon substrate 2 can be surely prevented from sticking to the insulating layer 20 when performing anodic bonding between the silicon substrate 2 and the insulating layer 20. - 特許庁

シリコン層３３とソース領域３７との間のベース領域３５上に薄いシリコン酸化膜３８を介してポリシリコンからなるゲート電極３９が形成される。例文帳に追加

A gate electrode 39 consisting of polysilicon is formed on the base region 35 between the silicon layer 33 and source region 37 via a thin silicon oxide 38. - 特許庁

電極駆動信号の少なくとも１つが、ポリシリコン薄膜バッファを介して供給される。例文帳に追加

At least one of the electrode-drive signals is supplied by way of a polysilicon thin-film buffer. - 特許庁

次いで、各対向電極１６に直流パルス電圧を印加し、シリコン系薄膜を成膜する。例文帳に追加

Then, the silicon-based thin film is deposited by applying a DC pulse voltage to each counter electrode 16. - 特許庁

Ｓｉ（１１１）上にゲ—ト誘電体用の極薄結晶質シリコン窒化物を生成する方法例文帳に追加

METHOD OF FORMING ULTRA-THIN CRYSTALLINE SILICON NITRIDE FOR GATE DIELECTRIC ON SILICON (111) - 特許庁

集電体上にシリコンを主成分として含む負極活物質薄膜が形成されている。例文帳に追加

A negative active material thin film containing silicon as the main component is formed on a current collector. - 特許庁