点回折干渉計の英語

点回折干渉計などに用いられるピンホールが生成する球面波の強度斑を低減する。例文帳に追加

To reduce the intensity unevenness of the spherical waves formed by a pinhole used for a point diffraction interferometer or the like. - 特許庁

アライメント方法、点回折干渉計測装置、及び該装置を用いた高精度投影レンズ製造方法例文帳に追加

ALIGNING METHOD, POINT DIFFRACTION INTERFERENCE MEASURING INSTRUMENT, AND HIGH-ACCURACY PROJECTION LENS MANUFACTURING METHOD USING THE SAME INSTRUMENT - 特許庁

第２の格子は放射源の回折像を受け取る焦点面に配置されており、シアリング干渉計を形成している。例文帳に追加

A second grating is disposed on the focal surface to receive the refractive image of an irradiating light to form a Shearing interferometer. - 特許庁

光学素子の製造方法、光学素子、該素子を搭載した検査装置、該検査装置を備えた露光装置及び点回折型干渉計測定装置例文帳に追加

METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT, THE OPTICAL ELEMENT, INSPECTION DEVICE LOADED WITH THE ELEMENT, AND EXPOSURE DEVICE AND POINT DIFFRACTION TYPE INTERFERENCE MEASURING INSTRUMENT PROVIDED WITH THE INSPECTION DEVICE - 特許庁

回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a linear encoder, a linear motor, a linear motor system and a main scale capable of performing origin detection of a position with improved detection accuracy by using diffraction interference light and facilitating design, development, manufacture and the like; and provide a method of manufacturing the linear encoder. - 特許庁

ピンホールからの射出波面の理想球面波に対する誤差を低減して、被検光学系の光学性能を高精度に測定することが可能な点回折干渉計、それを利用した露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a point diffraction interferometer that measures the optical performance of an optical system to be inspected with high accuracy, by reducing errors with respect to the ideal spherical waves of an emitted wave front from a pinhole, and to provide an exposure apparatus and a method therefor which use the point diffraction interferometer and a manufacturing method of devices thereof. - 特許庁