ユースポイントへ不純物濃度の著しく低い超純水を供給することができる超純水供給設備を提供する。例文帳に追加

To provide ultra-pure water supply equipment capable of supplying ultra-pure water markedly low in the concentration of impurities to a use point. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置とユースポイントとを接続する超純水流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を、還元性物質を溶解した水溶液で洗浄することを特徴とする。例文帳に追加

At least a part of the ultra-pure water making system, which comprises an ultra-pure water making apparatus, a use point for ultra-pure water and an ultra-pure water flow channel for connecting the ultra-pure water making apparatus and the use point, is washed with an aqueous solution having a reductive substance dissolved therein. - 特許庁

ユースポイント４０からの返送超純水の一部を一次純水製造装置１０に返送して水温制御する。例文帳に追加

A part of the return ultrapure water from a use point 40 is returned to the primary pure water making apparatus 10 to be controlled in its temperature. - 特許庁

ユースポイントへの微量の過酸化水素の混入をもなくするようにした超純水製造装置を提供すること。例文帳に追加

To provide an ultrapure water making apparatus constituted so as to eliminate the mixing with even a very small amount of hydrogen peroxide at a use point. - 特許庁

立ち上げ期間の短縮の可能な温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法を提供する。例文帳に追加

To provide a startup cleaning method for the use-point piping of a warm ultrapure water producing apparatus in which a startup period can be reduced. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置と前記ユースポイントとを接続する超純水の流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を洗浄する際に、前記超純水との接触面に付着した微粒子の表面電位を変化させることにより、前記微粒子を除去する。例文帳に追加

When at least some of an ultrapure water production system comprising the ultrapure water production apparatus, a use point of the ultrapure water, and a flow path of the ultrapure water which connects the above ultrapure water production apparatus and the above use point is washed, the fine particles are removed by changing the surface electric potential of the above fine particles stuck to a contacting surface with the above ultrapure water. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置と前記ユースポイントとを接続する超純水の流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を、塩基性化合物を含む洗浄液で洗浄した後、該塩基性化合物の少なくとも一部が残存する状態で洗浄液中に過酸化水素を注入する。例文帳に追加

At least a part of the extrapure water manufacturing system comprising an extrapure water manufacturing apparatus, a use point of extrapure water, and an extrapure water flow channel connecting the extrapure water manufacturing apparatus and the use point, is washed with a cleaning liquid containing a basic compound, and then hydrogen peroxide is poured into the cleaning liquid in a state where at least a part of the basic compound remains in the liquid. - 特許庁

超純水製造装置の起動時又は再起動時における超純水の水質の低下を防止して、ユースポイントに高水質の超純水を安定に供給する。例文帳に追加

To stably supply high-quality ultrapure water to a use point by preventing ultrapure water from being deteriorated in quality in starting or restarting an ultrapure water production apparatus. - 特許庁

温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法は、サブシシテム３に供給された一次純水Ｗ１をサブシステム３の超純水加熱装置７で加熱する。例文帳に追加

In the startup cleaning method for the use-point piping of the warm ultrapure water producing apparatus, primary purified water W1 supplied to a subsystem 3 is heated by an ultrapure water heating device 7 of the subsystem 3. - 特許庁

過酸化水素モニターが所定の濃度の過酸化水素を検出したときに過酸化水素を含む超純水を排出して過酸化水素を含む超純水がユースポイントに行かないようにすることかできる。例文帳に追加

When hydrogen peroxide with a predetermined concentration is detected by the hydrogen peroxide monitor, ultrapure water containing hydrogen peroxide is discharged so as not to go to the use point. - 特許庁

ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ultrapure water producing apparatus which removes both fine particles and ion components slightly mixed in ultrapure water transferred to a use point to remarkably reduce the exchange frequency of a module. - 特許庁

或いは、前処理部は除濁装置、活性炭吸着装置及びＲＯ膜装置を備え、超純水製造部はタンク、脱気装置、電気脱イオン装置及び濾過膜装置を備え、ユースポイントからの余剰の超純水はタンクに戻される。例文帳に追加

The excess ultrapure-water returned from the terminal piping part is introduced into the tank. - 特許庁

超純水製造部２はタンク２１、ＲＯ膜装置２２、脱気装置２３、電気脱イオン装置２４及び濾過膜装置２５を備え、ユースポイントからの余剰の超純水はタンク２１に戻される。例文帳に追加

The ultrapure-water making part 2 is constituted of at least a tank 21 introduced with pre-treated water, a reverse osmosis membrane apparatus 22 treating water from the tank, a degassing apparatus 23, an electro-deionizing apparatus 24, and a filtration membrane device 25. - 特許庁

タンク１１、ポンプ１２、熱交換器１３、低圧ＵＶ酸化装置１４、イオン交換装置１５及びＵＦ膜分離装置１６を有する超純水製造装置３と、超純水をユースポイント４に供給する超純水供給配管１７とを有する超純水供給装置。例文帳に追加

The ultrapure water supply apparatus has an ultrapure water production apparatus having a tank 11, a pump 12, a heat exchanger 13, a low-pressure UV oxidation apparatus, an ion exchange apparatus 15, and a UF membrane separation apparatus 16 and an ultrapure water supply apparatus 17 that supplies ultrapure water to a use point 4. - 特許庁

上記超純水製造工程において、留出水は、紫外線酸化処理装置２０３、イオン交換樹脂装置２０４、フィルター装置２０５で順次処理され、ユースポイント２０６に供給される。例文帳に追加

In the process for manufacturing ultrapure water, the distilled water is successively treated by a UV light oxidation treatment apparatus 203, an ion-exchange resin apparatus 204 and a filter apparatus 205 and then is supplied to a use point 206. - 特許庁

超純水供給配管１７に粒状イオン交換樹脂を充填したイオン交換装置２０を設け、超純水製造装置３の起動時又は再起動時から所定の期間、超純水をこのイオン交換装置２０に通水してユースポイント４に供給する。例文帳に追加

An ion exchange apparatus 20 packed with a particulate ion exchange resin is provided in the pipe 17, and ultrapure water is passed through the apparatus and then supplied to the use point 4 for a specified period of time after the apparatus 3 is started or restarted. - 特許庁

超純水に炭酸ガスを溶解させて機能性超純水を得るにあたり、比抵抗のみを測定してもユースポイントでの炭酸ガス量を所定の値に正確に調整することができる機能性超純水の製造方法及びそれに用いる装置を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of functional ultra-pure water capable of accurately adjusting the amount of carbon dioxide at a use point to a predetermined value even if only a specific resistance is measured in obtaining functional ultra-pure water by dissolving carbon dioxide in ultra-pure water, and an apparatus used therein. - 特許庁

ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、高集積デバイスの製造等に適する超純水を安定して供給し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ultrapure water production apparatus which removes traces of fine particles and ionic components contained in ultrapure water supplied to a use point, supplies ultrapure water suitable for the production of a high integration device, or the like, and reduces the replacement frequency of a module. - 特許庁

さらに溶解させる炭酸ガスの量は、この溶解点とユースポイント間に超純水の電気伝導度を測定する比抵抗測定器又はｐＨ計からなる炭酸ガス濃度測定装置６を配置して、炭酸ガス濃度測定装置の出力信号により制御する。例文帳に追加

The amount of the carbon dioxide dissolved is regulated by a signal output from a carbon dioxide concentration measuring device 6, which comprises a specific resistance measuring device or a pH meter for measuring the electrical conductivity of ultrapure water and is disposed between the dissolution point and the point of use. - 特許庁