超純水加熱装置の英語

超純水の加熱冷却方法及び装置例文帳に追加

HEATING AND COOLING METHOD AND APPARATUS FOR ULTRAPURE WATER - 特許庁

超純水システムにおいて、超純水を加温して温超純水を製造する超純水加熱装置１４と、超純水加熱装置により製造された温超純水をイオン吸着膜に通水する温超純水浄化装置１８とを設ける。例文帳に追加

In the ultrapure water system, an ultrapure water heating device 14 for heating ultrapure water to produce hot ultrapure water, and a hot ultrapure water purifying device 18 for passing the hot ultrapure water produced by the ultrapure water heating device through an ion adsorption membrane are installed. - 特許庁

超純水加熱装置３２は、室温の超純水を８０℃の冷却水との熱交換により６０℃に加熱する。例文帳に追加

The ultra pure water heating equipment 32 heats the super pure water at a room temperature up to 60°C by heat exchange with the cooling water at 80°C. - 特許庁

熱処理装置１０の加熱炉から排出された８０℃の冷却水を、洗浄装置３０の超純水加熱装置３２へ供給する。例文帳に追加

The cooling water at 80°C, which is discharged from a heating furnace 12 of heat treatment equipment 10, is supplied to ultra pure water heating equipment 32 of cleaning equipment 30. - 特許庁

温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法は、サブシシテム３に供給された一次純水Ｗ１をサブシステム３の超純水加熱装置７で加熱する。例文帳に追加

In the startup cleaning method for the use-point piping of the warm ultrapure water producing apparatus, primary purified water W1 supplied to a subsystem 3 is heated by an ultrapure water heating device 7 of the subsystem 3. - 特許庁

本願発明は、超純水等の純度の高い流体を加熱することができ、さらに熱伝達効率の高い加熱器を提供し、さらにこの加熱器を利用した清掃装置を提供する。例文帳に追加

To provide a heater capable of heating a fluid of high purity such as extra-pure water and having high heat transmitting efficiency, and to provide a cleaning device utilizing the heater. - 特許庁

超純水加熱装置１００の筐体１０内部には、加熱部２０、廃熱回収部３０、送風ファン４０、電源／制御ユニット５０が設けられる。例文帳に追加

In the enclosure 10 of an extremely pure water heating device, a heating section 20, a waste heat recovering section 30, a supply fan 40, and a power supply/control unit 50, are provided. - 特許庁