FIMsとは 意味・読み方・使い方

A curtain nozzle is arranged on the upper part of an opening 10 in the inside of the FIMS to form a gas curtain formed of an inert gas, and for closing the opening.例文帳に追加

FIMS内部における開口部１０の上部にカーテンノズルを配置して、該開口部を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成する。 - 特許庁

To prevent an increase in partial pressure of an oxidizing gas with time elapse inside FOUP that is fixed to an FIMS system and is in open state.例文帳に追加

FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。 - 特許庁

To provide a FIMS (Front-Opening Interface Mechanical Standard) system capable of preventing deformation of a pod due to a fixing force, when fixing the pod loaded.例文帳に追加

ローディングされたポッドを固定する際に、固定力によるポッドの変形を防止可能なFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a detector for detecting the projection of a glass wafer from an FOUP or the poor holding of the glass wafer easily and conveniently in an FIMS.例文帳に追加

FIMSにおいて、ガラスウエハのFOUPからの飛び出し或いは収容不良を容易且つ簡便に検出する検出装置を提供する。 - 特許庁

POD LOAD INTERFACE EQUIPMENT ADAPTED FOR IMPLEMENTATION IN FIMS SYSTEM例文帳に追加

ＦＩＭＳシステムで実施されるポッドロードインタフェース装置 - 特許庁

The line of action of a fixing force is arranged so that the positioning pins installed in the FIMS system can generate a resistive force that suppresses deformations due to the fixing force acting on the pod from a pod fixing system for fixing the pod to the FIMS system.例文帳に追加

FIMSシステムにポッドを固定するポッド固定システムよりポッドに作用する固定力に対し、当該固定力に起因するポッドの変形に対してFIMSシステムに埋設される位置決めピンが当該変形を抑制する抗力を発生可能となるように固定力の作用線を配置する。 - 特許庁

To provide a pod for suppressing diffusion of microfine dust etc., accompanying a cover of the pod into a minienvironment and an FIMS system corresponding to the pod.例文帳に追加

FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

After the step of fixing the lid to a pod, the door in the FIMS system once moves the pod to an unload position while keeping the lid fixed.例文帳に追加

ポッドに対して蓋を固定するステップの後、FIMSシステムにおけるドアが蓋を保持した状態を維持したまま一旦ポッドをアンロード位置に向けて移動させる。 - 特許庁