Local exhaust ventilationとは 意味・読み方・使い方

The local exhaust ventilation system comprises switching means that switches between a raw material supply part for supplying source gas for thin-film formation and a local ventilation part for discharging dust generated within the local ventilation region by etching, one of which communicates with a flow channel leading to the local ventilation region.例文帳に追加

局所排気装置は、局所排気領域に繋がる流路を、薄膜形成用の原料ガスを供給する原料供給部と、エッチングにより局所排気領域内に発生したダストを排出する局所排気部とに切り換えて連通させる切換手段を備える。 - 特許庁

(iii) Drawing showing the structure of facilities other than a local exhaust ventilation system, to prevent dispersal of dust発音を聞く 例文帳に追加

三　局所排気装置以外の粉じんの飛散を防止するための設備の構造を示す図面 - 日本法令外国語訳データベースシステム

To provide a local exhaust device capable of reducing an influence to general ventilation by a 24 hour ventilation system.例文帳に追加

２４時間換気システムによる全般換気への影響を軽減することのできる局所排気装置を提供すること。 - 特許庁

(xiii) Facilities to keep airtight emission sources of organic solvent vapour set forth in Article 5 or 6 of the Organic Solvent Ordinance, local exhaust ventilation systems, push-pull type ventilation systems, and general ventilation systems (excluding mobile ones)発音を聞く 例文帳に追加

十三　有機則第五条又は第六条の有機溶剤の蒸気の発散源を密閉する設備、局所排気装置、プッシュプル型換気装置又は全体換気装置（移動式のものを除く。） - 日本法令外国語訳データベースシステム

To provide a floor face induced airflow air conditioning system capable of efficiently performing air conditioning and ventilation of a large space such as a factory discharging large amount of exhaust by a local exhaust ventilation of production equipment and exhausting equipment of the whole factory.例文帳に追加

生産設備の局所排気装置及び工場全体の排気設備により大量の排気がなされている工場などの大空間の空調及び換気を効率よく行う床面誘導気流空調システムの提供 - 特許庁

Suction holes 4 are provided dispersedly in the longitudinal direction on the peripheral wall of the ventilation suction tube 2, and local air is sucked from the suction holes 4 of the ventilation suction tube 2 by the drive of the exhaust device 3 for local ventilation.例文帳に追加

そして、換気用吸気チューブ２の周壁には、吸気孔４…が長手方向において分散状態に設けられ、排気装置４の駆動により、換気用吸気チューブ２の各吸気孔４…が局所の空気を吸い込んで局所の換気を行うものとなされている。 - 特許庁

A defect correction device includes: a stage for placing a substrate; and a local exhaust ventilation system that comprises a local ventilation region that serves as a processing part for processing the substrate, a gas supply part for jetting gas toward the stage so that the system rises from the stage, and an exhaust part for exhausting gas jetted toward the stage and gas supplied from the local ventilation region to the stage side.例文帳に追加

基板を載置するステージと、基板を加工する加工部となる局所排気領域と、ステージに向けてガスを噴射することにより該ステージから浮上するためのガス供給部と、ステージに向けて噴射したガス及び局所排気領域から該ステージ側に供給されたガスを排気する排気部とを備えた局所排気装置を有する。 - 特許庁

(xxiv) Local exhaust ventilation systems or push-pull type ventilation systems installed pursuant to the provision of Article 4 or the proviso of paragraph (1) of Article 27 of the Dust Ordinance発音を聞く 例文帳に追加

二十四　粉じん則第四条又は第二十七条第一項ただし書の規定により設ける局所排気装置又はプッシュプル型換気装置 - 日本法令外国語訳データベースシステム