Scatterometerとは 意味・読み方・使い方

The overlay errors are measured using a scatterometer to obtain overlay measurements.例文帳に追加

オーバーレイエラーをスキャトロメータを用いて測定すると、オーバーレイ測定値が取得される。 - 特許庁

A cross-sectional area of radiation above a predetermined value is detected both in front of and behind the back focal plane of an optical system of a scatterometer so as to detect whether the substrate is in the focal plane of the scatterometer.例文帳に追加

基板がレンズのスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを検出するため、スキャトロメータの光学システムの後側焦点面の前後において、所定値以上の放射の断面エリアを検出する。 - 特許庁

To provide an angular-decomposition scatterometer that does not indicate measuring errors due to residual defocus or that indicates them only to a smaller extent, and to provide a scatterometer measuring method.例文帳に追加

残留デフォーカスによる測定誤差を示さないか、またはより小さい程度に示す角度分解スキャトロメータおよびスキャトロメータ測定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a scatterometer measuring method and apparatus that performs measurement using widely spaced wavelengths or wavelength ranges.例文帳に追加

広い間隔の波長または波長範囲を使用して測定することができるスキャトロメータ測定方法および装置を提供する。 - 特許庁

To provide an inspection apparatus (angularly resolved scatterometer) that can perform measurement with multiple different wavelengths and constrain reduction in throughput.例文帳に追加

複数の異なる波長で測定することができ、スループットの低下を抑止できる検査装置（角度分解スキャトロメータ）を提供すること。 - 特許庁

The scatterometer has a radiation source that emits radiation with different first and second wavelength ranges.例文帳に追加

スキャトロメータは、異なる第一および第二波長範囲の放射を放出することができる放射源を有する。 - 特許庁

To provide a method of measuring aberrations in a scatterometer having an illumination optical system and a projection optical system.例文帳に追加

照明光学システムおよび投影光学システムを有するスキャトロメータの収差を測定する方法が提供される。 - 特許庁

ANGULARLY RESOLVED SCATTEROMETER, INSPECTION METHOD, LITHOGRAPHY EQUIPMENT, LITHOGRAPHIC PROCESSING CELL, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND ALIGNMENT SENSOR例文帳に追加

角度分解スキャトロメータ、検査方法、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、デバイス製造方法およびアラインメントセンサ - 特許庁