TaSiとは 意味・読み方・使い方

As source gases, TaF_5 and SiH_4 are alternately fed to cause reaction on a substrate, thus generating a thin film of TaSi_x.例文帳に追加

原料ガスとしてＴａＦ_５とＳｉＨ_４とを交互に供給しながら基板上で反応させてＴａＳｉ_ｘの薄膜を生成する。 - 特許庁

The bulk absorber layer comprises one of tantalum silicide-based materials (TaSi), nitrogenized tantalum boride-based materials (TaBN) or tantalum nitride-based materials (TaN).例文帳に追加

バルク吸収層は、ケイ化タンタル系材料（ＴａＳｉ）、窒素化ホウ化タンタル系材料（ＴａＢＮ）、又は窒化タンタル系材料（ＴａＮ）の１つを含む。 - 特許庁

Preferably, the metal silicide film is any one kind of a WSi_x film, a TiSi_x film, an MoSi_x film, an NiSi_x film, a TaSi_x film, a CuSi_x film, and a CoSi_x film(where, x is an arbitrary number).例文帳に追加

前記金属シリサイド膜が、ＷＳｉ_ｘ膜、ＴｉＳｉ_ｘ膜、ＭｏＳｉ_ｘ膜、ＮｉＳｉ_ｘ膜、ＴａＳｉ_ｘ膜、ＣｕＳｉ_ｘ膜、および、ＣｏＳｉ_ｘ膜（ここで、ｘは任意の数）のうちいずれか１種であることが好ましい。 - 特許庁

This base for the liquid discharging head includes electrode wiring 105 for electrically connecting with a heating resistor, which forms a heating part 108, and an upper protective layer 107 provided above the heating resistor and the electrode wiring, wherein the upper protective layer is TaSi alloy including ≥22 at.% of Si.例文帳に追加

発熱部１０８を形成する発熱抵抗体に電気的に接続する電極配線１０５と、発熱抵抗体と電極配線との上方に設けられた上部保護層１０７と、を有し、上部保護層は、２２ａｔ．％以上のＳｉを含有するＴａＳｉ合金である。 - 特許庁