Tetramethylsilaneとは 意味・読み方・使い方

Tetramethylsilane and hexamethyldisilazane are indicated as examples for the plurality of kinds of organic silicon gas.例文帳に追加

複数種類の有機シリコンガスとしてはテトラメチルシランとヘキサメチルジシラザンとが例示される。 - 特許庁

As the material of the organic silane gas 15, monomethylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, and tetramethylsilane can be used.例文帳に追加

また、上記有機シランガス１５の原料には、モノメチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、テトラメチルシランを用いることができる。 - 特許庁

The trimethylsilane and the trialkylchlorosilane can simultaneously be produced from the trimethylchlorosilane and the trialkylhydrosilane compound without being accompanied by the formation of dimethylsilane or tetramethylsilane as by-products.例文帳に追加

本発明によれば、トリメチルクロロシランとトリアルキルヒドロシラン化合物から、ジメチルシランやテトラメチルシランの副生を伴わないでトリメチルシランとトリアルキルクロロシランを併産することができる。 - 特許庁

When Si-containing gas such as monomethylsilane gas or tetramethylsilane gas is used, C can be added together with Si to the film, and the sliding characteristic of the film can be enhanced.例文帳に追加

また、モノメチルシランガスやテトラメチルシランガス等のＳｉ含有ガスを用いると、被膜にＳｉと共にＣも添加でき、被膜の摺動特性を向上することができる。 - 特許庁

To provide a method of producing a semiconductor device having a satisfactory quality insulating film by preventing mixture of carbon, even when film formation is to be executed under a low-temperature condition, using TMS (tetramethylsilane) for a plasma CVD method.例文帳に追加

プラズマＣＶＤ法においてＴＭＳを用いて低温条件下で成膜する場合であっても、炭素の混入を抑えて良好な膜質の絶縁膜を有する半導体装置の製法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of forming insulating film capable of forming a proper insulating film by preventing mixture of carbon, even when film formation is carried out under low temperature conditions that uses tetramethylsilane (TMS) in a plasma CVD method.例文帳に追加

プラズマＣＶＤ法においてＴＭＳを用いて低温条件下で成膜する場合でも、炭素の混入を抑えて良質な絶縁膜を成膜することが可能な絶縁膜の成膜方法を提供すること。 - 特許庁

The impregnating sealer comprises an isocyanate compound mutually mixed with a silane compound selected from the group consisting of tetramethylsilane, tetraethoxysilane, vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane to be a transparent liquid.例文帳に追加

この含浸シーラー剤は、イソシアネート化合物と、テトラメトキシシラン，テトラエトキシシラン，ビニルトリメトキシシラン及びビニルトリエトキシシランよりなる群から選ばれたシラン化合物とが、相互に混ざり合って透明な液体となっているものである。 - 特許庁