detector beam testとは 意味・読み方・使い方

The laser beam generating device 10 and the detector 20 form a transmissive testing device, positioned such that the laser beam generating device 10 and the detector 20 face each other with the semiconductor device 15 that is the test subject therebetween.例文帳に追加

ここでレーザ発生装置１０と検出器２０とは、検査対象となる半導体装置１５を挟んで対向して位置する透過型の検査装置を構成する。 - 特許庁

Therefore, the electron beam microscope comprises an interruption means for interrupting the electron beam irradiated to the test piece and an electron beam detector set on the interruption means.例文帳に追加

そのための構成として、本発明の電子顕微鏡は、試料への電子線を遮断する電子線遮断手段と、電子線遮断手段に設けられた電子線検出器を有する。 - 特許庁

The electron beam device irradiates primary electron beams generated by an electron gun on a test piece and forms the secondary electrons emitted from the test piece on a detector by a map projection optical system.例文帳に追加

電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。 - 特許庁

Secondary electron emitted from a test piece by irradiation of primary electron beam in a rectangular field of view on the test piece 9 is magnified by a map projection optical system and guided to a plane detector or a linear detector by a secondary electron optical system.例文帳に追加

試料９上に長方形の視野で１次電子ビームが照射されることにより試料から放出された２次電子は、２次電子光学系により、写像投影光学系で拡大しかつ面検出器又は線検出器に導かれる。 - 特許庁

A detector is included which can detect the secondary electrons mutually and independently generated from the test piece surface by each multiple beam in the secondary optical system.例文帳に追加

前記マルチビームの各々により試料面から発生する二次電子を二次光学系において互いに独立に検出できる検出器を含む。 - 特許庁

In this method using the device, a particle beam 2 is directed to a substrate 8, and secondary particles 9 released thereby are detected by a detector 5 followed by evaluation to test the substrate.例文帳に追加

本発明は、粒子線２を基板８に向け、それによって放出された二次粒子９を検出器５で検出し、評価して基板の試験を行う方法及び装置に関する。 - 特許庁

This raster microscope has a light source to illuminate an object under test, a detection beam path and a detector disposed in the beam path to detect the light emitted from the object, and is also provided with a light injector which can lead the light other than the emitted light into the above beam path and supply it to the detector.例文帳に追加

被検対象を照明するための光源と、検出ビーム路と、該検出ビーム路に配されると共に被検試料から射出する検出光を検出するための検出器とを有するラスタ顕微鏡において、検出光以外の光を、前記検出ビーム路に差込入射可能としかつ前記検出器に供給可能とする差込入射装置を有することを特徴とする。 - 特許庁