dryetchingとは 意味・読み方・使い方

The compound is suitable for synthesizing a polymer equipped with attaching and anti-dryetching properties, and especially suitable for synthesizing a polymer by copolymerizing it with the combination of other monomers.例文帳に追加

この化合物は良好な親水性、付着性及び抗ドライエッチング性を具えたポリマーの合成に適合し、特に他のモノマーと組み合わせて共重合によりポリマーを合成するのに適合する。 - 特許庁

To obtain a new polysiloxane, useful as a resin component, or the like, of a resist material, excellent in dryetching resistance, and also excellent in basic physical properties as resist such as a transparency to a radiation, sensibility, resolution and developing property.例文帳に追加

ドライエッチング耐性に優れ、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度、現像性等のレジストとしての基本物性にも優れたレジスト材料の樹脂成分等として有用な新規ポリシロキサンを提供する。 - 特許庁

In a method for dryetching a diamond specimen P1 held on a specimen holder P5, the surface roughness of a sidewall of the diamond specimen P1 is controlled by forming a third layer P3 between the diamond specimen P1 and the specimen holder P5.例文帳に追加

試料ホルダーＰ５に保持されたダイヤモンド試料Ｐ１をドライエッチングする方法において、ダイヤモンド試料Ｐ１と試料ホルダーＰ５の間に第3の層Ｐ３を形成して、ダイヤモンド試料Ｐ１の側壁の表面粗さを制御する。 - 特許庁

To obtain a base polymer for a resist capable of improving resistance to dryetching without deteriorating transparency and resolution, or the like, as advantages of acrylic resist materials, and suitably useful as the base polymer for the resist using an exposing light source with a short wave length light such as an ArF eximer laser.例文帳に追加

（ａ）アクリル酸誘導体及びメタクリル酸誘導体から選択されたモノマー単位と、（ｂ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する共重合体、並びにこれを含有することを特徴とするレジスト用ベースポリマー。 - 特許庁

To provide an unsaturated carboxylic acid ester produced at a lower cost, capable of easily being polymerized, excellent in transparency and dryetching resistance, and affording a polymer usable as a resin component of the substrate of a radiation sensitive resist, and also to provide a photoresist composition using the same.例文帳に追加

容易に重合可能で、かつ透明性及び耐ドライエッチング性に優れる感放射線レジストの基材樹脂成分として有用な重合体を与えることができる低コストの不飽和カルボン酸エステル及びそれを用いたホトレジスト組成物を提供する - 特許庁