edge plasmaとは 意味・読み方・使い方

The plasma generators can be operated to generate plasma extending over a portion of the fillet 34 in the leading edge region 89.例文帳に追加

プラズマ発生器は、前縁領域内においてフィレットの一部分上に延びるプラズマを生成するように作動可能である。 - 特許庁

Moreover, a plasma guide part is desirably installed which is protruded from the center side edge part of the side edge regulating part to the treatment space.例文帳に追加

また、前記側縁規制部の中央側縁部から前記処理空間へ突出するプラズマガイド部を設けることが望ましい。 - 特許庁

To provide a plasma etching apparatus and a plasma processing method, for uniform etching processes from the central part in a wafer plane to edge part, by solving the problem of degradation in rate in a wafer edge part.例文帳に追加

ウェハエッジ部でのレートの低下を解消し、ウェハ面内の中心部からエッジ部にわたって均一なエッチング加工を可能にするプラズマエッチング装置及び、プラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

When plasma generated by an atmospheric pressure plasma processor 10 hits the chamfered edge 54 of a semiconductor substrate 52, the deformation of the edge 54 is removed, and the corner of the edge 54 is rounded to make the edge 54 round in sectional shape at the same time.例文帳に追加

大気圧プラズマ処理装置１０で発生させたプラズマが半導体基板５２の面取りされたエッジ部分５４に衝突すると、エッジ部分５４のひずみが除去され、同時にエッジ部分５４の角が丸くなりエッジ部分５４が断面Ｒ状に形成される。 - 特許庁

To prevent a part other than a processing objective part of a wafer inside than the wafer outer edge from also being processed in a plasma processing apparatus in which a processing gas is turned into plasma under substantially atmospheric ambient and blown off to perform plasma processing of the wafer outer edge.例文帳に追加

略常圧の環境下において処理ガスをプラズマ化して吹出し、ウェハーの外縁をプラズマ処理する装置において、ウェハーの外縁より内側の処理対象外の部分までもが処理されてしまうのを防止する。 - 特許庁

The plasma spraying device sprays with a plasma arc 3, an air intercepting chamber 25 which covers the area between a front edge of a plasma spraying torch 9 and neighborhood of a substrate is attached on the plasma spraying torch 9 and a chamber 25 is installed flexibly in an axial direction of the plasma spraying torch 9.例文帳に追加

プラズマアーク３により溶射を行なう溶射装置であって、溶射トーチ９に該溶射トーチ９先端から基材１近傍までを覆う空気遮断用のチャンバ２５を取り付るとともに、チャンバ２５を溶射トーチ９の軸方向に伸縮可能に構成する。 - 特許庁

To provide a device and method for driving an interlace type plasma display panel (PDP) that can prevent flickers at an upper edge and a lower edge of an image.例文帳に追加

画像の上縁と下縁でのフリッカを防止可能なインタレース型プラズマ表示パネル（ＰＤＰ）を駆動する装置と方法を提供すること。 - 特許庁

The display device comprises a plasma display panel 60, and a plurality of aligned printed circuit board modules 70-1 to 70-n connected to the edge part of the plasma display panel 60.例文帳に追加

プラズマディスプレイパネル６０と、この縁の部分に接続されて並んでいる複数のプリント回路基板モジュール７０−１〜７０−ｎとを有する構成である。 - 特許庁