electrode impedanceとは 意味・読み方・使い方

The plasma processing apparatus comprises a high frequency electrode and an impedance variable electrode that produce plasma discharge, wherein it is configured that high-frequency electric power is applied via a matching circuit for performing matching of impedance to the high frequency electrode and the impedance variable electrode is provided on a substrate retention member for retaining a substrate, and then the impedance variable electrode is grounded via an impedance variable mechanism 274 for varying the impedance.例文帳に追加

プラズマ処理装置は、プラズマ放電を生成する高周波電極とインピーダンス可変電極とを有し、インピーダンスの整合を行う整合器を介して前記高周波電極に高周波電力を印加し、基板を保持する基板保持部材にインピーダンス可変電極を設け、このインピーダンス可変電極をインピーダンスを可変するインピーダンス可変機構２７４を介して接地するように構成される。 - 特許庁

An auxiliary wire 150 for reducing the impedance of the common electrode 72 is connected to the common electrode 72.例文帳に追加

共通電極７２には、そのインピーダンスを低下させるために補助配線１５０が接続されている。 - 特許庁

A short high impedance waveform is applied to a sustain electrode in the first half section, and a long high impedance waveform is applied in the second half section.例文帳に追加

維持電極には、前半部に短ハイインピーダンス波形が印加され、後半部に長ハイインピーダンス波形が印加される。 - 特許庁

To provide an impedance adjustment circuit where number of LSI electrode pads is reduced without degrading adjustment accuracy of the impedance.例文帳に追加

インピーダンスの調整精度を落とさずに、ＬＳＩ電極パッド数を削減したインピーダンス調整回路を提供する。 - 特許庁

Electrical contact of the pattern detection electrode 15 is controlled by an impedance adjuster 6.例文帳に追加

インピーダンス調節器６は、パターン検出電極１５の電触を抑制する。 - 特許庁

The impedance of the electrode part 21 is measured by an impedance measuring part 24, and the number of yeasts is calculated based on a standard curve from the measured impedance of the sample.例文帳に追加

電極部２１のインピーダンスがインピーダンス測定部２４により測定され、測定されたサンプルのインピーダンスから検量線に基づいて酵母数を算出する。 - 特許庁

An impedance measurement circuit 20 measures a contact impedance by adding a current to the electrode 10, and outputs a voltage Vimp.例文帳に追加

インピーダンス測定回路２０は、電極１０に電流を加えて接触インピーダンスを測定し、電圧Ｖｉｍｐを出力する。 - 特許庁

The impedance measuring means 42 outputs the AC signal Sb flowing through the main electrode 12 to measure main impedance, and outputs the AC signal Sb flowing through the sub-electrode 11 to measure sub-impedance.例文帳に追加

インピーダンス計測手段４２は、メイン電極１２を流れるように交流信号Ｓｂを出力してメインインピーダンスを計測し、サブ電極１１を流れるように交流信号Ｓｂを出力してサブインピーダンスを計測する。 - 特許庁