electron beam deflectionとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE AND DEFLECTION AMOUNT CORRECTING METHOD例文帳に追加

電子ビーム露光装置及び偏向量補正方法 - 特許庁

To provide an electron beam biprism having a large deflection angle of an electron beam per applied voltage.例文帳に追加

印加電圧当たりの電子線の偏向角が大きな電子線バイプリズムを提供する。 - 特許庁

SADDLE-SHAPED COIL AND ELECTRON BEAM DEFLECTION DEVICE USING THE SAME例文帳に追加

鞍型コイル及びそれを用いた電子ビーム偏向装置 - 特許庁

ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS, DEFLECTION AMPLIFIER, ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY METHOD, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY PROGRAM例文帳に追加

電子ビーム描画装置、偏向アンプ、電子ビーム描画方法、半導体装置の製造方法、及び電子ビーム描画プログラム - 特許庁

ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE, AND ITS DEFLECTION EFFICIENCY ADJUSTING METHOD例文帳に追加

電子ビーム露光装置及びその偏向効率調整方法 - 特許庁

To provide an electron beam exposure device which is capable of controlling the deflection timing of an electron beam with high accuracy.例文帳に追加

電子ビームの偏向タイミングを高精度に制御する電子ビーム露光装置を提供する。 - 特許庁

ELECTROSTATIC DEFLECTION CONTROL CIRCUIT OF ELECTRON BEAM MEASURING DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING ELECTROSTATIC DEFLECTION例文帳に追加

電子線計測装置の静電偏向制御回路および静電偏向制御方法 - 特許庁

To correct a deflection chromatic aberration of a primary electron beam by an E×B separator in an electron beam device.例文帳に追加

電子線装置において、Ｅ×Ｂ分離器による一次電子線の偏向色収差を補正する。 - 特許庁