electron beam detectionとは 意味・読み方・使い方

To improve an alignment mark detection accuracy in an electron beam exposure.例文帳に追加

電子ビーム露光における、アライメントマーク検出精度を向上する。 - 特許庁

DISCHARGE DETECTION METHOD, DISCHARGE DETECTING MECHANISM AND ELECTRON BEAM DRAWING APPARATUS例文帳に追加

放電検出方法、放電検出機構及び電子ビーム描画装置 - 特許庁

Transmission-scattering beam detection means 9a, 9b are arranged at the rear part of the sample viewed from electron beam irradiation direction on the electron beam irradiation axis.例文帳に追加

透過・散乱ビーム検出手段９ａ，９ｂは、電子ビーム照射軸上で電子ビーム照射方向からみて試料の後方に配置する。 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation device, a method for detecting a region irradiated with an electron beam and an electron beam irradiation method which achieve the detection of the size of a region to be irradiated of an object while it is irradiated with a high-power electron beam.例文帳に追加

ハイパワーの電子線の照射中に、照射対象物の照射領域の大きさを検出できる電子線照射装置、電子線照射領域検出方法、電子線照射方法を提供する。 - 特許庁

ENERGY DISPERSION TYPE X-RAY DETECTION DEVICE, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE USING THE SAME AND ELECTRON BEAM MICRO ANALYZER例文帳に追加

エネルギー分散型Ｘ線検出装置及びこれを用いた走査型電子顕微鏡及び電子線マイクロアナライザー - 特許庁

In an electron beam treatment device which has electron beam quantity detection components 2 that detect the quantity of the electron beams emitted from the electron beam tubes 1 with the electron emission windows 11 outside them, connection lines 3 which transmit detection signals detected by the electron beam quantity detection components 2 are insulated and coated so as not to be affected at least by the electron beams and the plasma generated by them.例文帳に追加

電子放射窓１１を備えた電子線管１から放射される電子線量を検出する電子線量検出部２を電子放射窓１１の外部に備えた電子ビーム処理装置において、電子線量検出部２で検出された検出信号を伝達する接続線３は、少なくとも、前記電子線や前記電子線によって生成されたプラズマによる影響を受けないように絶縁被膜する。 - 特許庁

A mark 15 for electron beam detection is formed on a conductive base film 15b.例文帳に追加

電子ビーム検出用マーク１５は、導電性の基膜１５ｂ上に形成されている。 - 特許庁

POSITION DETECTION APPARATUS AND METHOD, ELECTRONIC COMPONENT CONVEYANCE APPARATUS, AND ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加

位置検出装置、位置検出方法、電子部品搬送装置及び電子ビーム露光装置 - 特許庁