electron beam detectionとは 意味・読み方・使い方

DISCHARGE DETECTION METHOD, DISCHARGE DETECTING MECHANISM AND ELECTRON BEAM DRAWING APPARATUS例文帳に追加

放電検出方法、放電検出機構及び電子ビーム描画装置 - 特許庁

To improve an alignment mark detection accuracy in an electron beam exposure.例文帳に追加

電子ビーム露光における、アライメントマーク検出精度を向上する。 - 特許庁

ELECTRON DETECTION MECHANISM AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE EQUIPPED WITH THE SAME例文帳に追加

電子検出機構及びそれを備えた荷電粒子線装置 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation device, a method for detecting a region irradiated with an electron beam and an electron beam irradiation method which achieve the detection of the size of a region to be irradiated of an object while it is irradiated with a high-power electron beam.例文帳に追加

ハイパワーの電子線の照射中に、照射対象物の照射領域の大きさを検出できる電子線照射装置、電子線照射領域検出方法、電子線照射方法を提供する。 - 特許庁

In an electron beam treatment device which has electron beam quantity detection components 2 that detect the quantity of the electron beams emitted from the electron beam tubes 1 with the electron emission windows 11 outside them, connection lines 3 which transmit detection signals detected by the electron beam quantity detection components 2 are insulated and coated so as not to be affected at least by the electron beams and the plasma generated by them.例文帳に追加

電子放射窓１１を備えた電子線管１から放射される電子線量を検出する電子線量検出部２を電子放射窓１１の外部に備えた電子ビーム処理装置において、電子線量検出部２で検出された検出信号を伝達する接続線３は、少なくとも、前記電子線や前記電子線によって生成されたプラズマによる影響を受けないように絶縁被膜する。 - 特許庁

Here, influences due to the visible light, ultraviolet light or the like in the chamber 2 are prevented, by having the electron beam E detected by the electron beam detector 7, by covering the detection surface 7a of the electron beam detector 7 with an electron beam blocking film 7b.例文帳に追加

このとき、電子線検出器７の検出面７ａを、導電性遮光膜７ｂで覆うことにより、当該電子線検出器７にて電子線Ｅを検出する際に、チャンバ２内における可視光や紫外光等から影響を受けることを防止する。 - 特許庁

This electron beam aligner has a wafer stage 152 on which a wafer is placed, an electron gun for generating electron beams, an electron detection unit 210 for detecting electrons, a mask member 220 which is disposed in a path of electron beam irradiation and has a passage unit 222 of electron beams, and a deflection unit 146 for deflecting electron beams and irradiating the mask member 220 or the electron detection unit 210 with electrons.例文帳に追加

電子ビーム露光装置は、ウェハを載置するウェハステージ１５２と、電子ビームを発生する電子銃と、電子を検出する電子検出部２１０と、電子ビームが照射される経路に設けられ、電子ビームを通過する通過部２２２を有するマスク部材２２０と、電子ビームを偏向し、マスク部材２２０又は電子検出部２１０に電子を照射させる偏向部１４６とを備える。 - 特許庁

GETTER SHIELD STRUCTURE OF ELECTRON BEAM POSITION DETECTION DEVICE AND CATHODE-RAY TUBE USING THE SAME例文帳に追加

電子ビーム位置検出装置のゲッタシールド構造及びそれを用いた陰極線管 - 特許庁