etching reagentとは 意味・読み方・使い方

The etching reagent from an etching reagent feeding source 24 is fed to the upper surface of the wafer W in a rotating state through an upper surface etching reagent feeding valve 25 and a treatment solvent feeding pipe 21.例文帳に追加

回転状態のウエハＷの上面に、エッチング液供給源２４からのエッチング液が、上面エッチング液供給バルブ２５および処理液供給管２１を介して供給される。 - 特許庁

To obtain an etching agent which is capable of etching a copper film at a high etching rate by a simple chemical etching method of immersing the low-resistance copper film in a static state into an aqueous solution of an inexpensive and easily available reagent when this copper film is used as a wiring material and hardly gives rise to the occurrence of abnormal etching and pattern thinning.例文帳に追加

低抵抗の銅膜を配線材料として用いる場合に、安価で入手容易な試薬の水溶液に静止状態で浸漬するという簡便なケミカルエッチング法により銅膜を高いエッチングレートでエッチングでき、しかも異常エッチングやパターン細りが起こり難いエッチング剤を得る。 - 特許庁

To etch the rear surface of a semiconductor wafer while forming an etching solution in which reagent solutions are always mixed in a desired ratio.例文帳に追加

常に所望の割合に混合されたエッチング液を生成して半導体ウェーハの裏面のエッチングを行うようにする。 - 特許庁

In this state where the side of the front surface is sealed with a seal ring 14, etc., etching reagent is made into contact with the side of a rear surface.例文帳に追加

この状態、シールリング１４等によって表面側をシールした状態で裏面側にエッチング液を接触させる。 - 特許庁

The etching and activation of a synthetic substance substrate are performed by a common operation stage in a first solution comprising at least one inorganic acid-containing etching reagent and an ionogen activator.例文帳に追加

、合成物質基板の腐食と活性化を共通の操作工程で行い、少なくとも一つの無機酸含有腐食剤とイオノゲン活性化剤を含む第一溶液中で行う。 - 特許庁

To provide a re-releasable pressure sensitive adhesive tape which protects an adherend without corrosion by an etching reagent, such as acid, alkali, during etching and which can be easily released without polluting the adherend at releasing of the tape after etching.例文帳に追加

エッチング中は酸やアルカリ等のエッチング液により浸食されることなく被着体を保護し、エッチング終了後のテープ剥離の際に被着体を汚染することなく容易に剥離可能な再剥離性粘着テープを提供すること。 - 特許庁

To provide a method for recovering cerium as high purity cerium ammonium nitrate capable of being used for preparing an etching reagent from waste liquid which is discharged from an etching process where chromium is etched with an etching solution containing cerium ammonium nitrate.例文帳に追加

硝酸セリウムアンモニウムを含むエッチング液でクロムをエッチングする工程から排出された廃液から、セリウムをエッチング液の調製に用い得る高純度の硝酸セリウムアンモニウムとして回収する方法を提供すること。 - 特許庁