floating stageとは 意味・読み方・使い方

To properly manage the quantity of flotation of a stage over a surface plate and the quantity of curvature of the stage in a stage device supporting the stage in a floating state with gas pressure.例文帳に追加

ガス圧によりステージを浮上支持するステージ装置において、定盤に対するステージの浮上量やステージの曲がり量を適切に管理する。 - 特許庁

A P floating region 52 is formed under the upper stage trench 21, and a P floating region 51 is formed under the lower stage trench 25.例文帳に追加

そして，上段トレンチ２１の下方にはＰフローティング領域５２が，下段トレンチ２５の下方にはＰフローティング領域５１がそれぞれ設けられている。 - 特許庁

The stage device is equipped with the stage 220 which moves on the surface plate 210, and a floating mechanism which supplies and sucks gas to and from the stage 220 through the surface plate 210 to support the stage 220 over the surface plate 210 in the floating state.例文帳に追加

ステージ装置は、定盤２１０上を移動するステージ２２０と、定盤２１０を通じてステージ２２０に対してガス供給及びガス吸引を行い、ステージ２２０を定盤２１０に対して浮上支持する浮上機構とを備える。 - 特許庁

In a floating stage 10, a first rough floating area M_IN in which a large number of exhaust nozzles 12 are exclusively disposed is mounted on a carry-in stage block SB_A at the left edge.例文帳に追加

浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。 - 特許庁

A first orbital object 31 is provided on the first side in the width direction y of the floating stage 10.例文帳に追加

第１軌道体３１を浮上ステージ１０の幅方向ｙの第１側に設ける。 - 特許庁

To provide a substrate inspection device having an inexpensive and simple constitution using a floating stage.例文帳に追加

浮上ステージを用いた安価且つ簡素な構成の基板検査装置を提供する。 - 特許庁

After resetting the plurality of floating diffusion parts, a signal N1 of reset level at a prestage floating diffusion part is taken into a post-stage circuit.例文帳に追加

複数のフローティングディフュージョン部をリセットした後、前段のフローティングディフュージョン部のリセットレベルの信号Ｎ１を後段回路に取り込む。 - 特許庁

To increase a tolerance of a step which is formed in a border (seam) of divided stage blocks in a floating stage so that height position adjustment work of a floating surface can be performed simply and for a short time.例文帳に追加

浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。 - 特許庁