fly systemsとは 意味・読み方・使い方

(a) Flight control devices for multi-spindle fly-by-wire systems or fly-by-light systems that integrate 2 or more functions among those that fall under the following発音を聞く 例文帳に追加

イ　多軸のフライバイワイヤ方式又はフライバイライト方式の操縦装置であって、次に該当する機能のうち二以上を統合したもの - 日本法令外国語訳データベースシステム

A reticle R is irradiated with an exposing light IL from an exposing light source 1 through an illumination optical system ILS comprising a first fly eye lens 6, a second fly eye lens 9, lens systems 12, 13 blinds 14A, 14B, and condenser lens systems 17, 18 and the pattern image of the reticle R is projected onto a wafer W through a projection optical system PL.例文帳に追加

露光光源１からの露光光ＩＬを、第１フライアイレンズ６、第２フライアイレンズ９、レンズ系１２，１３、ブラインド１４Ａ，１４Ｂ、及びコンデンサレンズ系１７，１８等よりなる照明光学系ＩＬＳを介してレチクルＲに照射し、レチクルＲのパターンの像を投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上に投影する。 - 特許庁

A luminance distribution resulting from inverting a luminance distribution of light of a light source is formed by a pair of fly eye optical systems 21d and 21e and a compound superposition lens 21i.例文帳に追加

一対のフライアイ光学系２１ｄ，２１ｅと、複合重畳レンズ２１ｉとによって、光源光の輝度分布を恰も反転したような輝度分布を形成ことができる。 - 特許庁

Specific illumination characteristics are measured using an evaluation mark plate 33 on a reticle stage 31, and a spatial image measuring system 46 provided on a wafer state 39 and then the state of the second fly eye lens 9 and the lens systems 12, 13 is adjusted through drive units 23, 24 and 25 based on the measurements.例文帳に追加

レチクルステージ３１上の評価マーク板３３、及びウエハステージ３９に設けられた空間像計測系４６等を用いて所定の照明特性を計測し、この計測値に基づいて駆動ユニット２３，２４，２５を介して第２フライアイレンズ９、及びレンズ系１２，１３の状態を調整する。 - 特許庁

To provide a mill pyrite feed treatment method capable of making it unnecessary to individually providing piping for feeding the pyrite discharged from a mill under pressure and piping for feeding bottom fly ash of a coal burning boiler as a slurry up to a disposal place such as an ash dumping ground or the like as separate systems to achieve sharp cost reduction, and equipment.例文帳に追加

ミルから排出されるパイライトを圧送するための配管と、石炭焚ボイラのボトムアッシュをスラリー搬送するための配管とを、灰捨場等の処理場まで別系統として個別に設けることを不要とし得、大幅なコスト削減を図り得るミルパイライト搬送処理方法及び設備を提供する。 - 特許庁