foreign particleとは 意味・読み方・使い方

FOREIGN SUBSTANCE REMOVAL METHOD AND DEVICE ON TRANSFER MASK FOR CHARGED PARTICLE BEAM例文帳に追加

荷電粒子線用転写マスクの異物除去方法及び異物除去装置 - 特許庁

METHOD OF REMOVING FOREIGN MATTER ON SAMPLE SURFACE AND CHARGED PARTICLE APPARATUS例文帳に追加

試料表面上の異物除去方法及びこれに用いる荷電粒子装置 - 特許庁

The foreign substance removal device on a transfer mask for a charged particle beam is to attract for removal or repel for removal a foreign substance with electrostatic force by making a prober having a pointed tip end to which electric charges are applied approach the foreign substance.例文帳に追加

電荷を与えた先端が尖ったプローバを異物に接近させ、静電気力で異物を吸着除去又は反発除去すること。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus equipped with a particle counter for detecting foreign particles having 100 nm or less particle diameter with high efficiency.例文帳に追加

100nm以下の粒径の異物粒子を高効率で検出できるパーティクルカウンタを搭載したプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide an evaluation method of a semiconductor wafer for enabling a particle counter to detect the foreign matters on the surface of the semiconductor wafer, whose particle size being not larger than the detection threshold of the particle counter, particularly, foreign matters whose particle sizes are ≤0.055 μm by making them apparent.例文帳に追加

半導体ウェーハの表面の異物で、パーティクルカウンタの検出限界以下のもの、特に０．０５５μｍ以下のサイズの異物を顕在化させ、パーティクルカウンタで検出することを可能にする半導体ウェーハの評価方法を提供する。 - 特許庁

DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING FOREIGN OBJECT IN PARTICLE USING SUB TERAHERTZ ELECTROMAGNETIC WAVE例文帳に追加

サブテラヘルツ電磁波を用いた粉粒体中異物検査装置およびその検査方法 - 特許庁

The particle sizes of the oxide foreign matters existing in a nitriding hardened layer and on the surface are 25 μm or smaller, and the particle sizes of nitride and/or carbide foreign matters and 17 μm or smaller.例文帳に追加

窒化による硬化層内および表面に存在する酸化物系の異物の粒径が２５μｍ以下であり、窒化物系および／または炭化物系異物の粒径が１７μｍ以下である。 - 特許庁

To prevent entering of foreign particle and dust to a mobile part of a transmission mechanism of a power tool.例文帳に追加

動力工具のトランスミッション機構の移動部品への、ごみ及び埃の進入を防ぐこと。 - 特許庁