higher order silaneとは 意味・読み方・使い方

A method for producing a germanium atom-containing higher order silane compound comprises irradiating a solution containing a photopolymerizable silane compound and a germanium compound with a ray having a longer wavelength than 400 nm to form the germanium atom-containing higher order silane compound.例文帳に追加

光重合性シラン化合物およびゲルマニウム化合物を含有する溶液に、４００ｎｍより長い波長の光線を照射せしめてゲルマニウム原子含有高次シラン化合物を生成せしめるゲルマニウム原子含有高次シラン化合物の製造法。 - 特許庁

METHOD FOR PRODUCING HIGHER ORDER SILANE COMPOUND CONTAINING PHOSPHORUS ATOM AND METHOD FOR FORMING PHOSPHORUS-CONTAINING SILICON FILM BY USING THE SAME例文帳に追加

リン原子含有高次シラン化合物の製造法及びそれを用いたリン含有シリコン膜の形成方法 - 特許庁

In the process for forming the silicon film, the higher order silane composition is applied onto a substrate.例文帳に追加

また、本発明は、前記高次シラン組成物を、基板に塗布することを特徴とするシリコン膜の形成方法を提供するものである。 - 特許庁

To provide a higher-order silane composition capable of forming a safe, high-quality film with desired thickness through a liquid phase process.例文帳に追加

液相プロセスを用いて、安全かつ所望な膜厚の良質な膜を形成することができる高次シラン組成物を提供すること。 - 特許庁

METHOD OF PREPARING HIGHER ORDER SILANE SOLUTION, METHOD OF FORMING SILICON FILM, SILICON FILM, THIN FILM TRANSISTOR (TFT), AND ELECTRO-OPTIC DEVICE例文帳に追加

高次シラン溶液の製造方法、シリコン膜の形成方法、シリコン膜、ＴＦＴ及び電気光学装置 - 特許庁

To take in and exhaust a source gas uniformly on a large-area substrate, and to promptly remove higher-order silane generated in plasma space.例文帳に追加

大面積の基板においても原料ガスの均一な給排気が可能であり、且つプラズマ空間で発生した高次シランを速やかに除去する。 - 特許庁

The method for forming a higher order silane compound containing phosphorus atom comprises the irradiation of a solution containing a photopolymerizable silane compound and a phosphorus compound with light having wavelength of >400 nm.例文帳に追加

光重合性シラン化合物およびリン化合物を含有する溶液に、４００ｎｍより長い波長の光線を照射せしめてリン原子含有高次シラン化合物を生成せしめるリン原子含有高次シラン化合物の製造法。 - 特許庁

The higher-order silane composition is a composition containing a higher-order silane compound and a solvent, provided that the solvent comprises a cyclic hydrocarbon which has one or two double bonds, does not have any alkyl group, comprises only carbons and hydrogens and has a refractive index of 1.40-1.51, a dielectric constant of ≤3.0 and a molecular weight of ≤180.例文帳に追加

上記高次シラン組成物は、高次シラン化合物および溶媒を含有する組成物であって、前記溶媒が、二重結合を１つまたは２つ有し、アルキル基を有さず、炭素および水素のみから構成され、屈折率が１．４０〜１．５１であり、比誘電率が３．０以下であり、そして分子量が１８０以下である環状炭化水素を含有してなることを特徴とする。 - 特許庁