ion beam characteristicとは 意味・読み方・使い方

The characteristic control means includes accelerating energy adjusting means 20 and 21, an ion beam scanning means 8 and ion beam passing range adjusting means 27 and 28.例文帳に追加

特性制御手段は、加速エネルギー調整手段２０，２１、イオンビーム走査手段８、及びイオンビームの通過範囲調整手段２７，２８を含んでいる。 - 特許庁

A characteristic control means for each ion beam is provided in the running path of the plurality of the impurity ion types of the ion beams 4 and 5 emitted from the emission part of the mass spectrometry part 3.例文帳に追加

質量分析部３の出射部から出射せしめられた複数の不純物イオン種のイオンビーム４，５の走行経路中に、当該イオンビームのための特性制御手段が配置されている。 - 特許庁

To deposit a super-conductive film (a super-conductor) for obtaining super-conductive characteristic in a relatively easy manner by using a focused ion beam (FIB) apparatus.例文帳に追加

集束イオンビーム装置を用いて比較的容易に超伝導特性が得られる膜超電導膜（超電導体）の成膜を可能にする。 - 特許庁

A helium gas atmosphere is formed in a small space enclosed by three parts, namely, a sample S, the head of the beam introduction pipe 2 and the head of the X-ray introduction sleeve 3a, and ion beam irradiation and introduction of a characteristic X-ray are executed in the atmosphere.例文帳に追加

試料Ｓ、ビーム導入管２の先端、Ｘ線導入用スリーブ３ａの先端の三者に囲まれた小空間にヘリウムガス雰囲気を形成し、この雰囲気内でイオンビーム照射、特性Ｘ線の導入を行う。 - 特許庁

To provide a hard thin film forming method using ion beam which is capable of forming a hard crystalline thin film at high speed irrespective of the shape and the temperature characteristic of a substrate, and controlling the surface roughness of the film.例文帳に追加

基板の形状および温度特性に関わらず、硬質の結晶質薄膜を高速で作製でき、膜の表面粗さが制御可能な、イオンビームを用いた新規な硬質薄膜作製法を提供する。 - 特許庁

The ion injection system feeds back an injected wafer characteristic data, extracts an area having deterioration tendency within the surface of a wafer 20, compensates a driving speed by an up and down mechanical driving speed controller 17 corresponding to the area and transmits to an ion injection part 2, and drives ion beam 12 to the area having deterioration tendency by changing the driving speed.例文帳に追加

注入されたウェハの特性デ−タをフィ−ドバックし、ウェハ２０面内の悪化傾向のある領域を抽出し、その領域に対応する上下メカニカル駆動速度制御部１７による駆動速度を補正しイオン注入部２に転送し、駆動速度を変えイオンビ−ム１２を悪化傾向の領域に駆動する。 - 特許庁

The analyzer 4 irradiates the sample with ion beam to generate characteristic X-rays having energy intrinsic to the element contained in the sample, detects the characteristic X-rays by an X-ray detector to take the data due to the X-ray spectrum of the characteristic X-rays, and sends the data to a central analyzing center 1 through a network 3.例文帳に追加

分析装置４はイオンビームを試料に照射することによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持つ特性Ｘ線を発生させ、この特性Ｘ線をＸ線検出器で検出し、そのＸ線スペクトルによるデータを取り、ネットワーク３を通じて中央解析センター１に送る。 - 特許庁